Granietkomponente is wyd gebruik in die halfgeleiervervaardigingsproses vanweë hul uitstekende eienskappe soos uitstekende oppervlakafwerking, hoë styfheid en uitstekende vibrasiedemping.Granietkomponente is noodsaaklik vir halfgeleiervervaardigingstoerusting, insluitend litografiemasjiene, poleermasjiene en metrologiestelsels, aangesien dit presisieposisionering en stabiliteit tydens die vervaardigingsproses bied.Ten spyte van al die voordele van die gebruik van granietkomponente, het hulle ook gebreke.In hierdie artikel sal ons die defekte van granietkomponente vir halfgeleiervervaardigingsprosesprodukte bespreek.
Eerstens het granietkomponente 'n hoë termiese uitsettingskoëffisiënt.Dit beteken dat hulle aansienlik uitbrei onder termiese spanning, wat probleme tydens die vervaardigingsproses kan veroorsaak.Die halfgeleiervervaardigingsproses vereis hoë akkuraatheid en dimensionele akkuraatheid wat weens termiese spanning in die gedrang kan kom.Silikonwafelvervorming as gevolg van termiese uitsetting kan byvoorbeeld belyningsprobleme tydens litografie veroorsaak, wat die kwaliteit van die halfgeleiertoestel kan benadeel.
Tweedens het granietkomponente porositeitsdefekte wat vakuumlekkasies in die halfgeleiervervaardigingsproses kan veroorsaak.Die teenwoordigheid van lug of enige ander gas in die stelsel kan kontaminasie op die wafer se oppervlak veroorsaak, wat lei tot defekte wat die halfgeleiertoestel se werkverrigting kan beïnvloed.Inerte gasse soos argon en helium kan in poreuse granietkomponente insypel en gasborrels skep wat met die vakuumproses se integriteit kan inmeng.
Derdens het granietkomponente mikrofrakture wat kan inmeng met die vervaardigingsproses se akkuraatheid.Graniet is 'n bros materiaal wat mettertyd mikrofrakture kan ontwikkel, veral wanneer dit aan konstante spanningsiklusse blootgestel word.Die teenwoordigheid van mikrofrakture kan lei tot dimensionele onstabiliteit, wat beduidende probleme tydens die vervaardigingsproses veroorsaak, soos litografie-belyning of wafer-polering.
Vierdens het granietkomponente beperkte buigsaamheid.Die halfgeleiervervaardigingsproses vereis buigsame toerusting wat verskillende prosesveranderinge kan akkommodeer.Granietkomponente is egter styf en kan nie by verskillende prosesveranderinge aanpas nie.Daarom noodsaak enige veranderinge in die vervaardigingsproses die verwydering of vervanging van die granietkomponente, wat lei tot stilstand en produktiwiteit beïnvloed.
Vyfdens vereis granietkomponente spesiale hantering en vervoer vanweë hul gewig en broosheid.Graniet is 'n digte en swaar materiaal wat gespesialiseerde hanteringstoerusting soos hyskrane en hysers benodig.Daarbenewens benodig granietkomponente noukeurige verpakking en vervoer om skade tydens versending te voorkom, wat lei tot bykomende koste en tyd.
Ten slotte, granietkomponente het 'n paar nadele wat halfgeleiervervaardigingsprosesprodukte se kwaliteit en produktiwiteit kan beïnvloed.Hierdie defekte kan tot die minimum beperk word deur versigtige hantering en instandhouding van granietkomponente, insluitend periodieke inspeksie vir mikrofrakture en porositeitsdefekte, behoorlike skoonmaak om kontaminasie te voorkom, en versigtige hantering tydens vervoer.Ten spyte van die defekte bly granietkomponente 'n belangrike deel van die halfgeleiervervaardigingsproses as gevolg van hul uitstekende oppervlakafwerking, hoë styfheid en uitstekende vibrasiedemping.
Postyd: Des-05-2023