Granietkomponente word wyd gebruik in die halfgeleiervervaardigingsproses vanweë hul uitstekende eienskappe soos voortreflike oppervlakafwerking, hoë styfheid en uitstekende vibrasie -demping. Granietkomponente is noodsaaklik vir halfgeleiervervaardigingstoerusting, insluitend litografiemasjiene, poleermasjiene en metrologiestelsels, aangesien dit tydens die vervaardigingsproses presisieposisionering en stabiliteit bied. Ondanks al die voordele van die gebruik van granietkomponente, het hulle ook defekte. In hierdie artikel bespreek ons die gebreke van granietkomponente vir produkte vir die vervaardigingsproses van halfgeleiers.
Eerstens het granietkomponente 'n hoë termiese uitbreidingskoëffisiënt. Dit beteken dat hulle aansienlik uitbrei onder termiese spanning, wat probleme tydens die vervaardigingsproses kan veroorsaak. Die halfgeleiervervaardigingsproses verg hoë presisie en dimensionele akkuraatheid wat as gevolg van termiese spanning in die gedrang kan kom. Byvoorbeeld, silikonplaatvervorming as gevolg van termiese uitbreiding kan probleme tydens litografie belyning veroorsaak, wat die kwaliteit van die halfgeleierapparaat in die gedrang kan bring.
Tweedens het granietkomponente poreusheidsdefekte wat vakuumlekkasies in die halfgeleiervervaardigingsproses kan veroorsaak. Die teenwoordigheid van lug of enige ander gas in die stelsel kan besoedeling op die oppervlak van die wafel veroorsaak, wat lei tot defekte wat die werkverrigting van die halfgeleier kan beïnvloed. Inerte gasse soos argon en helium kan in poreuse granietkomponente insypel en gasborrels skep wat die integriteit van die vakuumproses kan beïnvloed.
Derdens het granietkomponente mikrofrakture wat die presisie van die vervaardigingsproses kan beïnvloed. Graniet is 'n bros materiaal wat mettertyd mikrofrakture kan ontwikkel, veral as dit blootgestel word aan konstante spanningsiklusse. Die teenwoordigheid van mikrofrakture kan lei tot dimensionele onstabiliteit, wat tydens die vervaardigingsproses beduidende probleme veroorsaak, soos litografie -belyning of wafelpolisering.
Vierdens het granietkomponente beperkte buigsaamheid. Die halfgeleiervervaardigingsproses benodig buigsame toerusting wat verskillende prosesveranderings kan akkommodeer. Granietkomponente is egter styf en kan nie aanpas by verskillende prosesveranderings nie. Daarom noodsaak enige veranderinge in die vervaardigingsproses die verwydering of vervanging van die granietkomponente, wat lei tot stilstand en die produktiwiteit beïnvloed.
Vyfdens benodig granietkomponente spesiale hantering en vervoer vanweë hul gewig en broosheid. Graniet is 'n digte en swaar materiaal wat gespesialiseerde hanteringstoerusting soos hyskrane en hysbakke benodig. Daarbenewens benodig granietkomponente noukeurige verpakking en vervoer om skade tydens versending te voorkom, wat lei tot ekstra koste en tyd.
Ten slotte het granietkomponente 'n paar nadele wat die kwaliteit en produktiwiteit van die halfgeleiervervaardigingsproses kan beïnvloed. Hierdie defekte kan tot die minimum beperk word deur noukeurige hantering en instandhouding van granietkomponente, insluitend periodieke inspeksie vir mikrofrakture en poreusheidsdefekte, behoorlike skoonmaak om besoedeling te voorkom, en noukeurige hantering tydens vervoer. Ondanks die defekte, bly granietkomponente 'n belangrike deel van die vervaardigingsproses van die halfgeleier as gevolg van hul voortreflike oppervlakafwerking, hoë styfheid en uitstekende vibrasie -demping.
Postyd: Desember-05-2023