Granietkomponente word wyd gebruik in die halfgeleiervervaardigingsproses as gevolg van hul uitstekende eienskappe soos superieure oppervlakafwerking, hoë styfheid en uitstekende vibrasiedemping. Granietkomponente is noodsaaklik vir halfgeleiervervaardigingstoerusting, insluitend litografiemasjiene, poleermasjiene en metrologiestelsels, aangesien hulle presiese posisionering en stabiliteit tydens die vervaardigingsproses bied. Ten spyte van al die voordele van die gebruik van granietkomponente, het hulle ook defekte. In hierdie artikel sal ons die defekte van granietkomponente vir halfgeleiervervaardigingsprosesprodukte bespreek.
Eerstens, granietkomponente het 'n hoë termiese uitsettingskoëffisiënt. Dit beteken dat hulle aansienlik uitsit onder termiese spanning, wat probleme tydens die vervaardigingsproses kan veroorsaak. Die halfgeleiervervaardigingsproses vereis hoë presisie en dimensionele akkuraatheid wat as gevolg van termiese spanning in die gedrang kan kom. Byvoorbeeld, silikonwafelvervorming as gevolg van termiese uitsetting kan belyningsprobleme tydens litografie veroorsaak, wat die kwaliteit van die halfgeleiertoestel kan benadeel.
Tweedens, granietkomponente het porositeitsdefekte wat vakuumlekkasies in die halfgeleiervervaardigingsproses kan veroorsaak. Die teenwoordigheid van lug of enige ander gas in die stelsel kan kontaminasie op die wafer se oppervlak veroorsaak, wat lei tot defekte wat die halfgeleiertoestel se werkverrigting kan beïnvloed. Inerte gasse soos argon en helium kan in poreuse granietkomponente sypel en gasborrels skep wat die integriteit van die vakuumproses kan belemmer.
Derdens, granietkomponente het mikrofrakture wat die presisie van die vervaardigingsproses kan beïnvloed. Graniet is 'n bros materiaal wat mettertyd mikrofrakture kan ontwikkel, veral wanneer dit aan konstante spanningsiklusse blootgestel word. Die teenwoordigheid van mikrofrakture kan lei tot dimensionele onstabiliteit, wat beduidende probleme tydens die vervaardigingsproses veroorsaak, soos litografie-belyning of waferpolering.
Vierdens, granietkomponente het beperkte buigsaamheid. Die halfgeleiervervaardigingsproses vereis buigsame toerusting wat verskillende prosesveranderinge kan akkommodeer. Granietkomponente is egter rigied en kan nie by verskillende prosesveranderinge aanpas nie. Daarom noodsaak enige veranderinge in die vervaardigingsproses die verwydering of vervanging van die granietkomponente, wat lei tot stilstand en produktiwiteit beïnvloed.
Vyfdens, granietkomponente vereis spesiale hantering en vervoer as gevolg van hul gewig en broosheid. Graniet is 'n digte en swaar materiaal wat gespesialiseerde hanteringstoerusting soos hyskrane en hysers benodig. Daarbenewens benodig granietkomponente versigtige verpakking en vervoer om skade tydens verskeping te voorkom, wat lei tot bykomende koste en tyd.
Ten slotte, granietkomponente het 'n paar nadele wat die kwaliteit en produktiwiteit van halfgeleiervervaardigingsprosesprodukte kan beïnvloed. Hierdie defekte kan geminimaliseer word deur versigtige hantering en instandhouding van granietkomponente, insluitend periodieke inspeksie vir mikrofrakture en porositeitsdefekte, behoorlike skoonmaak om kontaminasie te voorkom, en versigtige hantering tydens vervoer. Ten spyte van die defekte, bly granietkomponente 'n belangrike deel van die halfgeleiervervaardigingsproses as gevolg van hul superieure oppervlakafwerking, hoë styfheid en uitstekende vibrasiedemping.
Plasingstyd: 05 Desember 2023