Graniet luglagerstelsels word wyd gebruik inultra-presisiebewegingsplatforms vir halfgeleiervervaardiging, optiese belyning en nanometer-skaal metrologie.
Hierdie stelsels elimineer meganiese kontak deur 'n dun, onderdrukte lugfilm te gebruik, wat byna geen wrywing veroorsaak nie.
Lugdraende Beginsel
Luglaers werk deur saamgeperste lug tussen twee oppervlaktes in te voer, wat 'n lugfilm van 2–20 μm vorm.
Dit elimineer:
- Meganiese wrywing
- Dra
- Kleef-gly gedrag
Die stelsel maak staat op vloeistoffilmdinamika en stabiele laminêre vloei.
Rol van Graniet
Graniet bied:
- Strukturele stabiliteit
- Termiese drywingsonderdrukking
- Vibrasiedemping
Dit dien as die meganiese verwysingsbasis vir die bewegingstelsel.
Stelselkomponente
- Granietbasis
- Luglagerblokkies
- Lugtoevoerstelsel
- Presisie-enkodeerders
- Bewegingsbeheerstelsel
Prestasie-eienskappe
Tipiese prestasie sluit in:
- Sub-mikron posisioneringsakkuraatheid
- Hoë reguitheid oor lang reise
- Nul meganiese terugslag
Belangrike foutbronne sluit in lugdrukonstabiliteit, termiese drywing en enkoderfout.
Toepassings
- Halfgeleierwafelinspeksie
- Litografiestelsels
- Optiese belyningsplatforms
- Hoë-end metrologie masjiene
Gereelde vrae
Slyt luglaers uit?
Geen meganiese kontak elimineer slytasie nie.
Waarom graniet gebruik?
Vir stabiliteit en vibrasiedemping.
Wat beperk akkuraatheid?
Lugstabiliteit en termiese effekte.
Kan hulle swaar vragte dra?
Ja, afhangende van die ontwerp.
Plasingstyd: 3 Julie 2026