In die presiese ketting van halfgeleiervervaardiging is die wafer-oordragstelsel soos die "lewenslyn van die skyfieproduksielyn", en die stabiliteit en akkuraatheid daarvan bepaal direk die opbrengskoers van skyfies. Die nuwe generasie wafer-oordragstelsels kombineer revolusionêr lineêre motors met granietbasisse, en die unieke voordele van granietmateriale is juis die kernkode om hoëprestasie-oordrag te ontsluit.
Granietbasis: Bou van 'n "rotsvaste fondament" vir stabiele transmissie
Graniet, wat honderde miljoene jare van geologiese verfyning ondergaan het, beskik oor digte en eenvormige interne mineraalkristallisasie. Hierdie natuurlike eienskap maak dit 'n ideale basismateriaal vir wafer-oordragstelsels. In die komplekse omgewing van halfgeleier-skoonkamers kan graniet, met sy ultra-lae termiese uitbreidingskoëffisiënt (slegs 5-7 × 10⁻⁶/℃), die hitte wat tydens die werking van toerusting gegenereer word en die invloed van omgewingstemperatuurveranderinge weerstaan, wat die stabiliteit van die basisgrootte verseker en die afwyking van die transmissiepad wat deur termiese vervorming veroorsaak word, vermy. Die uitstekende vibrasiedempende prestasie kan die meganiese vibrasies wat tydens die aanvang, afskakeling en versnelling van lineêre motors gegenereer word, sowel as die eksterne interferensies wat deur die werking van ander toerusting in die werkswinkel veroorsaak word, vinnig absorbeer, wat 'n stabiele platform met "nul skudding" vir wafer-oordrag bied.
Intussen verseker die chemiese stabiliteit van graniet dat dit nie korrodeer of roes in halfgeleierwerkswinkels waar suur- en alkali-reagense vlugtig is en hoë netheid vereis word nie, wat die impak op transmissie-akkuraatheid as gevolg van materiaalveroudering of besoedelingsadsorpsie vermy. Die gladde en digte oppervlakkenmerke kan stofadhesie meer effektief verminder, wat voldoen aan die streng stofvrye standaarde van skoonkamers en die risiko van waferkontaminasie vanaf die wortel uitskakel.
Die "goue vennootskap"-effek van lineêre motors en graniet
Lineêre motors, met hul eienskappe van geen meganiese transmissiespeling nie, hoë versnelling en hoë reaksiespoed, bied wafer-transmissie die voordele van "vinnig, akkuraat en stabiel". Die granietbasis bied 'n soliede en betroubare ondersteuningsplatform daarvoor. Die twee werk saam om 'n sprong in prestasie te behaal. Wanneer die lineêre motor die waferdraer aandryf om op die granietbasisbaan te loop, verseker die sterk rigiditeit en stabiliteit van die basis die doeltreffende oordrag van die motor se dryfkrag, wat kragverlies of transmissievertraging wat deur basisvervorming veroorsaak word, vermy.
Aangedryf deur die vraag na nanoskaal-presisie, kan lineêre motors sub-mikron-vlak verplasingsbeheer bereik. Die hoë-presisie verwerkingseienskappe van granietbasisse (met platheidsfoute wat binne ±1μm beheer word) pas perfek by die presiese beheer van lineêre motors, wat gesamentlik verseker dat die posisioneringsfout tydens wafer-oordrag minder as ±5μm is. Of dit nou hoëspoed-oordrag tussen verskeie prosestoerusting of presiese parkering vir wafer-oordrag is, die kombinasie van lineêre motors en granietbasisse kan "nul afwyking en nul trilling" in wafer-oordrag verseker.
Verifikasie van die bedryfspraktyk: Dubbele verbetering in doeltreffendheid en opbrengskoers
Na die opgradering van sy wafer-oordragstelsel het 'n toonaangewende wêreldwye halfgeleieronderneming 'n lineêre motor + granietbasis-oplossing aangeneem, wat die wafer-oordragdoeltreffendheid met 40% verhoog het, die voorkomssyfer van foute soos botsings en verrekening tydens die oordragproses met 85% verminder het, en die algehele opbrengskoers van skyfies met 6% verbeter het. Agter die data lê die waarborg van transmissiestabiliteit wat deur die granietbasis gebied word en die hoëspoed- en presiese sinergie-effek van die lineêre motor, wat die verlies en foute in die wafer-oordragproses aansienlik verminder.
Van materiaaleienskappe tot presisievervaardiging, van prestasievoordele tot praktiese verifikasie, het die kombinasie van lineêre motors en granietbasisse die standaarde van wafer-oordragstelsels herdefinieer. In die toekoms, wanneer halfgeleiertegnologie vorder na 3nm- en 2nm-prosesse, sal granietmateriale sekerlik voortgaan om sterk stukrag aan die bedryf se ontwikkeling te gee met hul onvervangbare voordele.
Plasingstyd: 14 Mei 2025