Materiaal – Keramiek

♦Alumina (Al2O3)

Die presisie-keramiekonderdele wat deur ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG) vervaardig word, kan gemaak word van hoë-suiwerheid keramiek grondstowwe, 92~97% alumina, 99.5% alumina, >99.9% alumina, en CIP koue isostatiese persing. Hoë temperatuur sintering en presisie bewerking, dimensionele akkuraatheid van ± 0.001 mm, gladheid tot Ra0.1, gebruikstemperatuur tot 1600 grade. Verskillende kleure keramiek kan gemaak word volgens kliënte se vereistes, soos: swart, wit, beige, donkerrooi, ens. Die presisie-keramiekonderdele wat deur ons maatskappy vervaardig word, is bestand teen hoë temperatuur, korrosie, slytasie en isolasie, en kan vir 'n lang tyd in hoë temperatuur, vakuum en korrosiewe gas omgewing gebruik word.

Wyd gebruik in 'n verskeidenheid halfgeleierproduksietoerusting: Rame (keramiekbeugel), Substraat (basis), Arm/Brug (manipulator), Meganiese Komponente en Keramiek Luglaers.

AL2O3

Produknaam Hoë Suiwerheid 99 Alumina Keramiek Vierkantige Buis / Pyp / Staaf
Indeks Eenheid 85% Al2O3 95% Al2O3 99% Al2O3 99.5% Al2O3
Digtheid g/cm3 3.3 3.65 3.8 3.9
Waterabsorpsie % <0.1 <0.1 0 0
Gesinterde Temperatuur 1620 1650 1800 1800
Hardheid Mohs 7 9 9 9
Buigsterkte (20 ℃)) Mpa 200 300 340 360
Druksterkte kgf/cm² 10000 25000 30000 30000
Langdurige werktemperatuur 1350 1400 1600 1650
Maks. Werktemperatuur 1450 1600 1800 1800
Volumeweerstand 20℃ Ω. cm3 >1013 >1013 >1013 >1013
100℃ 1012-1013 1012-1013 1012-1013 1012-1013
300℃ >109 >1010 >1012 >1012

Toepassing van hoë suiwerheid alumina keramiek:
1. Toegepas op halfgeleiertoerusting: keramiek vakuumklauw, snyskyf, skoonmaakskyf, keramiekklauw.
2. Wafer-oordragonderdele: waferhanteringsklemme, wafersnyskywe, waferskoonmaakskywe, wafer optiese inspeksie-suigkoppies.
3. LED / LCD platskermskermbedryf: keramiekspuitstuk, keramiekslypskyf, LIFT PIN, PIN-rail.
4. Optiese kommunikasie, sonbedryf: keramiekbuise, keramiekstawe, keramiekskrapers vir die skermdruk van stroombane.
5. Hittebestande en elektries isolerende dele: keramiek laers.
Tans kan aluminiumoksiedkeramiek verdeel word in hoë suiwerheid en algemene keramiek. Die hoë suiwerheid aluminiumoksiedkeramiekreeks verwys na die keramiekmateriaal wat meer as 99.9% Al₂O₃ bevat. As gevolg van die sintertemperatuur van tot 1650 - 1990°C en die transmissiegolflengte van 1 ~ 6μm, word dit gewoonlik verwerk tot gesmelte glas in plaas van platinumkroesies: wat as natriumbuis gebruik kan word as gevolg van die ligdeurlaatbaarheid en korrosiebestandheid teen alkalimetaal. In die elektroniese industrie kan dit gebruik word as die hoëfrekwensie-isolerende materiaal vir IC-substrate. Volgens verskillende inhoud van aluminiumoksied kan die algemene aluminiumoksiedkeramiekreeks verdeel word in 99 keramiek, 95 keramiek, 90 keramiek en 85 keramiek. Soms word die keramiek met 80% of 75% aluminiumoksied ook geklassifiseer as algemene aluminiumoksiedkeramiekreeks. Onder hulle word 99 aluminiumoksied keramiek materiaal gebruik om hoëtemperatuur-kroeë, brandwerende oondbuise en spesiale slytbestande materiale, soos keramiek laers, keramiek seëls en klepplate, te vervaardig. 95 aluminium keramiek word hoofsaaklik as korrosiebestande slytbestande onderdele gebruik. 85 keramiek word dikwels gemeng met sekere eienskappe, wat elektriese werkverrigting en meganiese sterkte verbeter. Dit kan molibdeen, niobium, tantaal en ander metaalseëls gebruik, en sommige word as elektriese vakuumtoestelle gebruik.

 

Kwaliteitsitem (Verteenwoordigende Waarde) Produknaam AES-12 AES-11 AES-11C AES-11F AES-22S AES-23 AL-31-03
Chemiese Samestelling Lae-Natrium Maklike Sinterproduk H₂O % 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1
Lol % 0.1 0.2 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1
Fe₂0� % 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01
SiO₂ % 0.03 0.03 0.03 0.03 0.02 0.04 0.04
Na₂O % 0.04 0.04 0.04 0.04 0.02 0.04 0.03
MgO* % - 0.11 0.05 0.05 - - -
Al₂0� % 99.9 99.9 99.9 99.9 99.9 99.9 99.9
Medium deeltjiediameter (MT-3300, laseranalisemetode) μm 0.44 0.43 0.39 0.47 1.1 2.2 3
α Kristalgrootte μm 0.3 0.3 0.3 0.3 0.3 ~ 1.0 0.3 ~ 4 0.3 ~ 4
Vormingsdigtheid** g/cm³ 2.22 2.22 2.2 2.17 2.35 2.57 2.56
Sinterdigtheid** g/cm³ 3.88 3.93 3.94 3.93 3.88 3.77 3.22
Krimptempo van Sinterlyn** % 17 17 18 18 15 12 7

* MgO word nie ingesluit in die berekening van die suiwerheid van Al₂O₃ nie.
* Geen skaleerpoeier 29.4MPa (300kg/cm²), sintertemperatuur is 1600°C.
AES-11 / 11C / 11F: Voeg 0.05 ~ 0.1% MgO by, die sinterbaarheid is uitstekend, dus dit is van toepassing op aluminiumoksiedkeramiek met 'n suiwerheid van meer as 99%.
AES-22S: Gekenmerk deur hoë vormdigtheid en lae krimpkoers van die sinterlyn, is dit van toepassing op glyvormgieting en ander grootskaalse produkte met die vereiste dimensionele akkuraatheid.
AES-23 / AES-31-03: Dit het 'n hoër vormdigtheid, tiksotropie en 'n laer viskositeit as AES-22S. Eersgenoemde word gebruik vir keramiek terwyl laasgenoemde as waterverminderer vir brandwerende materiale gebruik word en gewild raak.

♦ Eienskappe van silikonkarbied (SiC)

Algemene eienskappe Suiwerheid van hoofkomponente (gew.%) 97
Kleur Swart
Digtheid (g/cm³) 3.1
Waterabsorpsie (%) 0
Meganiese eienskappe Buigsterkte (MPa) 400
Jong modulus (GPa) 400
Vickers-hardheid (GPa) 20
Termiese Eienskappe Maksimum bedryfstemperatuur (°C) 1600
Termiese uitbreidingskoëffisiënt RT~500°C 3.9
(1/°C x 10-6) RT~800°C 4.3
Termiese geleidingsvermoë (W/m x K) 130 110
Termiese skokweerstand ΔT (°C) 300
Elektriese Eienskappe Volumeweerstand 25°C 3 x 106
300°C -
500°C -
800°C -
Diëlektriese konstante 10GHz -
Diëlektriese verlies (x 10-4) -
Q-faktor (x 104) -
Diëlektriese deurslagspanning (KV/mm) -

20200507170353_55726

♦Silikonnitriedkeramiek

Materiaal Eenheid Si₃N₄
Sintermetode - Gasdruk gesinterd
Digtheid g/cm³ 3.22
Kleur - Donkergrys
Waterabsorpsiekoers % 0
Jong Modulus GPA 290
Vickers Hardheid GPA 18 - 20
Druksterkte Mpa 2200
Buigsterkte Mpa 650
Termiese geleidingsvermoë W/mK 25
Termiese Skokweerstand Δ (°C) 450 - 650
Maksimum bedryfstemperatuur °C 1200
Volumeweerstand Ω·cm > 10 ^ 14
Diëlektriese Konstante - 8.2
Diëlektriese Sterkte kV/mm 16