Materiaal - Keramiek

♦ Alumina (Al2O3)

Die presisie keramiekonderdele wat deur ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG) vervaardig word, kan gemaak word van hoë-suiwer keramiek grondstowwe, 92 ~ 97% alumina, 99.5% alumina, > 99.9% alumina, en CIP koue isostatiese pers.Hoë temperatuur sintering en presisie bewerking, dimensionele akkuraatheid van ± 0.001mm, gladheid tot Ra0.1, gebruik temperatuur tot 1600 grade.Verskillende kleure keramiek kan gemaak word volgens kliënte se vereistes, soos: swart, wit, beige, donkerrooi, ens. Die presisie keramiekonderdele wat deur ons maatskappy vervaardig word, is bestand teen hoë temperature, korrosie, slytasie en isolasie, en kan gebruik vir 'n lang tyd in hoë temperatuur, vakuum en korrosiewe gas omgewing.

Word wyd gebruik in 'n verskeidenheid halfgeleierproduksietoerusting: Rame (keramiekbeugel), Substraat (basis), Arm / Brug (manipuleerder), Meganiese komponente en Keramiese luglaers.

AL2O3

Produk Naam Hoë suiwerheid 99 alumina keramiek vierkantige buis / pyp / staaf
Indeks Eenheid 85 % Al2O3 95 % Al2O3 99 % Al2O3 99,5 % Al2O3
Digtheid g/cm3 3.3 3,65 3.8 3.9
Water Absorpsie % <0.1 <0.1 0 0
Gesinterde temperatuur 1620 1650 1800 1800
Hardheid Mohs 7 9 9 9
Buigsterkte (20℃)) Mpa 200 300 340 360
Druksterkte Kgf/cm2 10 000 25 000 30 000 30 000
Lang tyd werkstemperatuur 1350 1400 1600 1650
Maks.Werkstemperatuur 1450 1600 1800 1800
Volume Weerstand 20℃ Ω.cm3 >1013 >1013 >1013 >1013
100 ℃ 1012-1013 1012-1013 1012-1013 1012-1013
300 ℃ >109 >1010 >1012 >1012

Toepassing van hoë suiwer alumina keramiek:
1. Toegepas op halfgeleier toerusting: keramiek vakuum chuck, sny skyf, skoonmaak skyf, keramiek CHUCK.
2. Wafer-oordrag-onderdele: wafer-hantering-chucks, wafer-snyskyfies, wafer-skoonmaakskyfies, wafer-optiese inspeksie-suigkoppies.
3. LED / LCD plat paneel vertoon industrie: keramiek mondstuk, keramiek slyp skyf, LIFT PIN, PIN spoor.
4. Optiese kommunikasie, sonkragindustrie: keramiekbuise, keramiekstawe, kringbordskermdrukkeramiekskrapers.
5. Hittebestande en elektries isolerende dele: keramieklaers.
Op die oomblik kan aluminiumoksiedkeramiek verdeel word in hoë suiwerheid en gewone keramiek.Die hoë suiwer aluminiumoksied keramiekreeks verwys na die keramiekmateriaal wat meer as 99,9% Al₂O₃ bevat.As gevolg van sy sintertemperatuur van tot 1650 - 1990°C en sy transmissiegolflengte van 1 ~ 6μm, word dit gewoonlik verwerk tot gesmelte glas in plaas van platinum smeltkroes: wat as natriumbuis gebruik kan word as gevolg van sy ligoordrag en korrosiebestandheid t.o.v. alkalimetaal.In die elektroniese industrie kan dit gebruik word as die hoëfrekwensie-isolasiemateriaal vir IC-substrate.Volgens verskillende inhoud van aluminiumoksied, kan die algemene aluminiumoksied-keramiekreeks in 99 keramiek, 95 keramiek, 90 keramiek en 85 keramiek verdeel word.Soms word die keramiek met 80% of 75% aluminiumoksied ook geklassifiseer as gewone aluminiumoksiedkeramiekreeks.Onder hulle word 99 aluminiumoksied-keramiekmateriaal gebruik om 'n hoë-temperatuur-smeltkroes, vuurvaste oondbuis en spesiale slytvaste materiale, soos keramieklaers, keramiekseëls en klepplate, te vervaardig.95 aluminium keramiek word hoofsaaklik gebruik as korrosiebestande slytasiebestanddeel.85-keramiek word dikwels in sommige eienskappe gemeng, waardeur elektriese werkverrigting en meganiese sterkte verbeter word.Dit kan molibdeen, niobium, tantaal en ander metaal seëls gebruik, en sommige word as elektriese vakuum toestelle gebruik.

 

Kwaliteit-item (verteenwoordigende waarde) Produk Naam AES-12 AES-11 AES-11C AES-11F AES-22S AES-23 AL-31-03
Chemiese samestelling Lae-natrium Maklik sinterproduk H₂O % 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1
Lol % 0.1 0.2 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1
Fe₂0₃ % 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01
SiO₂ % 0,03 0,03 0,03 0,03 0,02 0,04 0,04
Na₂O % 0,04 0,04 0,04 0,04 0,02 0,04 0,03
MgO* % - 0.11 0,05 0,05 - - -
Al₂0₃ % 99,9 99,9 99,9 99,9 99,9 99,9 99,9
Medium deeltjie deursnee (MT-3300, laser analise metode) μm 0,44 0,43 0,39 0,47 1.1 2.2 3
α Kristalgrootte μm 0.3 0.3 0.3 0.3 0,3 ~ 1,0 0,3 ~ 4 0,3 ~ 4
Vormingsdigtheid** g/cm³ 2.22 2.22 2.2 2.17 2,35 2,57 2,56
Sinterdigtheid** g/cm³ 3,88 3,93 3,94 3,93 3,88 3,77 3.22
Krimptempo van sinterlyn** % 17 17 18 18 15 12 7

* MgO word nie by die berekening van suiwerheid van Al₂O₃ ingesluit nie.
* Geen skaalpoeier 29.4MPa (300kg/cm²), sintertemperatuur is 1600°C.
AES-11 / 11C / 11F: Voeg 0,05 ~ 0,1% MgO by, die sinterbaarheid is uitstekend, dus is dit van toepassing op aluminiumoksiedkeramiek met die suiwerheid van meer as 99%.
AES-22S: Gekenmerk deur hoë vormdigtheid en lae krimptempo van sinterlyn, is dit van toepassing op glyvormgietwerk en ander grootskaalse produkte met die vereiste dimensionele akkuraatheid.
AES-23 / AES-31-03: Dit het 'n hoër vormingsdigtheid, tiksotropie en 'n laer viskositeit as AES-22S.eersgenoemde word aan keramiek gebruik, terwyl laasgenoemde as waterverminderaar vir brandwerende materiale gebruik word, wat gewild raak.

♦ Silikonkarbied (SiC) Eienskappe

Algemene kenmerke Suiwerheid van hoofkomponente (gew.%) 97
Kleur Swart
Digtheid (g/cm³) 3.1
Waterabsorpsie (%) 0
Meganiese eienskappe Buigsterkte (MPa) 400
Jong modulus (GPa) 400
Vickers hardheid (GPa) 20
Termiese eienskappe Maksimum bedryfstemperatuur (°C) 1600
Termiese uitsettingskoëffisiënt RT~500°C 3.9
(1/°C x 10-6) RT~800°C 4.3
Termiese geleidingsvermoë (W/m x K) 130 110
Termiese skokweerstand ΔT (°C) 300
Elektriese kenmerke Volume weerstand 25°C 3 x 106
300°C -
500°C -
800°C -
Diëlektriese konstante 10GHz -
Diëlektriese verlies (x 10-4) -
Q-faktor (x 104) -
Diëlektriese afbreekspanning (KV/mm) -

20200507170353_55726

♦Silicon Nitride Keramiek

Materiaal Eenheid Si₃N₄
Sintermetode - Gasdruk gesinterd
Digtheid g/cm³ 3.22
Kleur - Donkergrys
Waterabsorpsietempo % 0
Jong Modulus Gpa 290
Vickers Hardheid Gpa 18 - 20
Druksterkte Mpa 2200
Buigsterkte Mpa 650
Termiese geleidingsvermoë W/mK 25
Termiese skokweerstand Δ (°C) 450 - 650
Maksimum bedryfstemperatuur °C 1200
Volume Weerstand Ω·cm > 10 ^ 14
Diëlektriese konstante - 8.2
Diëlektriese sterkte kV/mm 16