♦ Alumina (Al2O3)
Die presisie keramiekonderdele wat deur ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG) vervaardig word, kan gemaak word van hoë-suiwer keramiek grondstowwe, 92 ~ 97% alumina, 99.5% alumina, > 99.9% alumina, en CIP koue isostatiese pers.Hoë temperatuur sintering en presisie bewerking, dimensionele akkuraatheid van ± 0.001mm, gladheid tot Ra0.1, gebruik temperatuur tot 1600 grade.Verskillende kleure keramiek kan gemaak word volgens kliënte se vereistes, soos: swart, wit, beige, donkerrooi, ens. Die presisie keramiekonderdele wat deur ons maatskappy vervaardig word, is bestand teen hoë temperature, korrosie, slytasie en isolasie, en kan gebruik vir 'n lang tyd in hoë temperatuur, vakuum en korrosiewe gas omgewing.
Word wyd gebruik in 'n verskeidenheid halfgeleierproduksietoerusting: Rame (keramiekbeugel), Substraat (basis), Arm / Brug (manipuleerder), Meganiese komponente en Keramiese luglaers.
Produk Naam | Hoë suiwerheid 99 alumina keramiek vierkantige buis / pyp / staaf | |||||
Indeks | Eenheid | 85 % Al2O3 | 95 % Al2O3 | 99 % Al2O3 | 99,5 % Al2O3 | |
Digtheid | g/cm3 | 3.3 | 3,65 | 3.8 | 3.9 | |
Water Absorpsie | % | <0.1 | <0.1 | 0 | 0 | |
Gesinterde temperatuur | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
Hardheid | Mohs | 7 | 9 | 9 | 9 | |
Buigsterkte (20℃)) | Mpa | 200 | 300 | 340 | 360 | |
Druksterkte | Kgf/cm2 | 10 000 | 25 000 | 30 000 | 30 000 | |
Lang tyd werkstemperatuur | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
Maks.Werkstemperatuur | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
Volume Weerstand | 20℃ | Ω.cm3 | >1013 | >1013 | >1013 | >1013 |
100 ℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
300 ℃ | >109 | >1010 | >1012 | >1012 |
Toepassing van hoë suiwer alumina keramiek:
1. Toegepas op halfgeleier toerusting: keramiek vakuum chuck, sny skyf, skoonmaak skyf, keramiek CHUCK.
2. Wafer-oordrag-onderdele: wafer-hantering-chucks, wafer-snyskyfies, wafer-skoonmaakskyfies, wafer-optiese inspeksie-suigkoppies.
3. LED / LCD plat paneel vertoon industrie: keramiek mondstuk, keramiek slyp skyf, LIFT PIN, PIN spoor.
4. Optiese kommunikasie, sonkragindustrie: keramiekbuise, keramiekstawe, kringbordskermdrukkeramiekskrapers.
5. Hittebestande en elektries isolerende dele: keramieklaers.
Op die oomblik kan aluminiumoksiedkeramiek verdeel word in hoë suiwerheid en gewone keramiek.Die hoë suiwer aluminiumoksied keramiekreeks verwys na die keramiekmateriaal wat meer as 99,9% Al₂O₃ bevat.As gevolg van sy sintertemperatuur van tot 1650 - 1990°C en sy transmissiegolflengte van 1 ~ 6μm, word dit gewoonlik verwerk tot gesmelte glas in plaas van platinum smeltkroes: wat as natriumbuis gebruik kan word as gevolg van sy ligoordrag en korrosiebestandheid t.o.v. alkalimetaal.In die elektroniese industrie kan dit gebruik word as die hoëfrekwensie-isolasiemateriaal vir IC-substrate.Volgens verskillende inhoud van aluminiumoksied, kan die algemene aluminiumoksied-keramiekreeks in 99 keramiek, 95 keramiek, 90 keramiek en 85 keramiek verdeel word.Soms word die keramiek met 80% of 75% aluminiumoksied ook geklassifiseer as gewone aluminiumoksiedkeramiekreeks.Onder hulle word 99 aluminiumoksied-keramiekmateriaal gebruik om 'n hoë-temperatuur-smeltkroes, vuurvaste oondbuis en spesiale slytvaste materiale, soos keramieklaers, keramiekseëls en klepplate, te vervaardig.95 aluminium keramiek word hoofsaaklik gebruik as korrosiebestande slytasiebestanddeel.85-keramiek word dikwels in sommige eienskappe gemeng, waardeur elektriese werkverrigting en meganiese sterkte verbeter word.Dit kan molibdeen, niobium, tantaal en ander metaal seëls gebruik, en sommige word as elektriese vakuum toestelle gebruik.
Kwaliteit-item (verteenwoordigende waarde) | Produk Naam | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
Chemiese samestelling Lae-natrium Maklik sinterproduk | H₂O | % | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
Lol | % | 0.1 | 0.2 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | |
Fe₂0₃ | % | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | |
SiO₂ | % | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,02 | 0,04 | 0,04 | |
Na₂O | % | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,02 | 0,04 | 0,03 | |
MgO* | % | - | 0.11 | 0,05 | 0,05 | - | - | - | |
Al₂0₃ | % | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | |
Medium deeltjie deursnee (MT-3300, laser analise metode) | μm | 0,44 | 0,43 | 0,39 | 0,47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
α Kristalgrootte | μm | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0,3 ~ 1,0 | 0,3 ~ 4 | 0,3 ~ 4 | |
Vormingsdigtheid** | g/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2,35 | 2,57 | 2,56 | |
Sinterdigtheid** | g/cm³ | 3,88 | 3,93 | 3,94 | 3,93 | 3,88 | 3,77 | 3.22 | |
Krimptempo van sinterlyn** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 |
* MgO word nie by die berekening van suiwerheid van Al₂O₃ ingesluit nie.
* Geen skaalpoeier 29.4MPa (300kg/cm²), sintertemperatuur is 1600°C.
AES-11 / 11C / 11F: Voeg 0,05 ~ 0,1% MgO by, die sinterbaarheid is uitstekend, dus is dit van toepassing op aluminiumoksiedkeramiek met die suiwerheid van meer as 99%.
AES-22S: Gekenmerk deur hoë vormdigtheid en lae krimptempo van sinterlyn, is dit van toepassing op glyvormgietwerk en ander grootskaalse produkte met die vereiste dimensionele akkuraatheid.
AES-23 / AES-31-03: Dit het 'n hoër vormingsdigtheid, tiksotropie en 'n laer viskositeit as AES-22S.eersgenoemde word aan keramiek gebruik, terwyl laasgenoemde as waterverminderaar vir brandwerende materiale gebruik word, wat gewild raak.
♦ Silikonkarbied (SiC) Eienskappe
Algemene kenmerke | Suiwerheid van hoofkomponente (gew.%) | 97 | |
Kleur | Swart | ||
Digtheid (g/cm³) | 3.1 | ||
Waterabsorpsie (%) | 0 | ||
Meganiese eienskappe | Buigsterkte (MPa) | 400 | |
Jong modulus (GPa) | 400 | ||
Vickers hardheid (GPa) | 20 | ||
Termiese eienskappe | Maksimum bedryfstemperatuur (°C) | 1600 | |
Termiese uitsettingskoëffisiënt | RT~500°C | 3.9 | |
(1/°C x 10-6) | RT~800°C | 4.3 | |
Termiese geleidingsvermoë (W/m x K) | 130 110 | ||
Termiese skokweerstand ΔT (°C) | 300 | ||
Elektriese kenmerke | Volume weerstand | 25°C | 3 x 106 |
300°C | - | ||
500°C | - | ||
800°C | - | ||
Diëlektriese konstante | 10GHz | - | |
Diëlektriese verlies (x 10-4) | - | ||
Q-faktor (x 104) | - | ||
Diëlektriese afbreekspanning (KV/mm) | - |
♦Silicon Nitride Keramiek
Materiaal | Eenheid | Si₃N₄ |
Sintermetode | - | Gasdruk gesinterd |
Digtheid | g/cm³ | 3.22 |
Kleur | - | Donkergrys |
Waterabsorpsietempo | % | 0 |
Jong Modulus | Gpa | 290 |
Vickers Hardheid | Gpa | 18 - 20 |
Druksterkte | Mpa | 2200 |
Buigsterkte | Mpa | 650 |
Termiese geleidingsvermoë | W/mK | 25 |
Termiese skokweerstand | Δ (°C) | 450 - 650 |
Maksimum bedryfstemperatuur | °C | 1200 |
Volume Weerstand | Ω·cm | > 10 ^ 14 |
Diëlektriese konstante | - | 8.2 |
Diëlektriese sterkte | kV/mm | 16 |