In die sleutelskakel van skyfievervaardiging - waferskandering, bepaal die akkuraatheid van die toerusting die kwaliteit van die skyfie. As 'n belangrike komponent van die toerusting, het die termiese uitbreidingsprobleem van die granietmasjienbasis baie aandag getrek.
Die termiese uitsettingskoëffisiënt van graniet is gewoonlik tussen 4 en 8 × 10⁻⁶/℃, wat baie laer is as dié van metale en marmer. Dit beteken dat wanneer die temperatuur verander, die grootte daarvan relatief min verander. Daar moet egter op gelet word dat lae termiese uitsetting nie beteken dat daar geen termiese uitsetting is nie. Onder uiterste temperatuurskommelings kan selfs die geringste uitsetting die nanoskaal-akkuraatheid van wafer-skandering beïnvloed.
Tydens die wafer-skandeerproses is daar verskeie redes vir die voorkoms van termiese uitsetting. Die temperatuurskommelings in die werkswinkel, die hitte wat gegenereer word deur die werking van toerustingkomponente, en die oombliklike hoë temperatuur wat deur laserverwerking veroorsaak word, sal alles veroorsaak dat die granietbasis "uitsit en saamtrek as gevolg van temperatuurveranderinge". Sodra die basis termiese uitsetting ondergaan, kan die reguitheid van die geleidingsrail en die platheid van die platform afwyk, wat lei tot 'n onakkurate bewegingstrajek van die wafertafel. Die ondersteunende optiese komponente sal ook skuif, wat veroorsaak dat die skanderingsstraal "afwyk". Deurlopende werk vir 'n lang tyd sal ook foute ophoop, wat die akkuraatheid al hoe erger maak.
Maar moenie bekommerd wees nie. Mense het reeds oplossings. Wat materiale betref, sal granietare met 'n laer termiese uitsettingskoëffisiënt gekies en aan verouderingsbehandeling onderwerp word. Wat temperatuurbeheer betref, word die werkswinkeltemperatuur presies beheer teen 23±0.5℃ of selfs laer, en 'n aktiewe hitte-afvoertoestel sal ook vir die basis ontwerp word. Wat strukturele ontwerp betref, word simmetriese strukture en buigsame stutte aangeneem, en intydse monitering word deur temperatuursensors uitgevoer. Die foute wat deur termiese vervorming veroorsaak word, word dinamies deur algoritmes reggestel.
Hoë-end toerusting soos ASML litografiemasjiene, deur hierdie metodes, hou die termiese uitbreidingseffek van die granietbasis binne 'n uiters klein reeks, wat die akkuraatheid van waferskandeerwerk tot nanometervlak in staat stel. Daarom, solank dit behoorlik beheer word, bly die granietbasis 'n betroubare keuse vir waferskandeertoerusting.
Plasingstyd: 12 Junie 2025