Die halfgeleierbedryf werk op 'n skaal van presisie wat die grense van menslike vindingrykheid verskuif. In die hart van hierdie bedryf se gehaltebeheer – die laaste, kritieke stap voordat 'n skyfie as gereed vir die mark beskou word – lê 'n oënskynlik eenvoudige materiaal: graniet. Spesifiek, presisie-granietplatforms is die oplossing vir halfgeleierskyfie-inspeksie, 'n feit wat diegene buite die veld mag verras. By ZHONGHUI Group (ZHHIMG®) verstaan ons hierdie verhouding intiem. Ons kundigheid in die vervaardiging van ultra-hoë-presisie granietkomponente en meetinstrumente het ons 'n sleutelvennoot gemaak vir sommige van die wêreld se voorste halfgeleier- en metrologiemaatskappye. Die afhanklikheid van graniet vir hierdie kritieke toepassing is nie 'n kwessie van tradisie nie, maar van suiwer fisika en ingenieurswese. Dit gaan daaroor om aan 'n stel unieke en veeleisende vereistes te voldoen wat geen ander materiaal so effektief kan bevredig nie.
Die onwrikbare eis vir stabiliteit
Halfgeleier-skyfie-inspeksie gaan nie net oor die kontrolering vir defekte nie; dit gaan oor die verifikasie dat mikroskopiese kenmerke, dikwels gemeet in nanometer, perfek gevorm is. Hierdie proses behels gesofistikeerde toerusting, soos optiese inspeksiestelsels (AOI) en industriële CT-skandeerders, wat perfek stabiel moet bly tydens 'n skandering. Enige vibrasie, termiese uitbreiding of strukturele drywing kan foute veroorsaak, wat lei tot vals positiewe of, erger nog, gemiste defekte.
Dit is waar graniet uitblink. Anders as metaal, wat aansienlik uitsit en krimp met temperatuurveranderinge, het graniet 'n ongelooflik lae termiese uitsettingskoëffisiënt. Ons ZHHIMG® Swart Graniet het 'n digtheid van ongeveer 3100 kg/m3, wat uitsonderlike termiese stabiliteit bied. Dit beteken dat 'n granietplatform sy vorm en platheid sal behou, selfs in omgewings waar die omgewingstemperatuur effens wissel. In 'n klimaatbeheerde werkswinkel soos ons 10 000 m2-fasiliteit, waar temperatuur met militêre presisie gehandhaaf word, is graniet se stabiliteit ongeëwenaard.
Verder is graniet se uitstekende dempingseienskappe noodsaaklik. Dit absorbeer en versprei natuurlik meganiese vibrasies, wat verhoed dat hulle na die delikate inspeksietoerusting oorgedra word. In 'n besige vervaardigingsaanleg vol masjinerie, is hierdie vibrasiedemping van kritieke belang om die integriteit van die meting te handhaaf. Ons werkswinkels is met dit in gedagte ontwerp, met ultra-dik betonvloere en anti-vibrasie-slote om 'n omgewing te skep waar ons vakmanne nanometervlak-presisie in hul werk kan bereik.
Die soeke na absolute platheid
Vir 'n skyfie-inspeksiestelsel om te werk, moet die basis so na as moontlik aan perfek plat wees. Die konsep van 'n "plat oppervlak" in hierdie konteks is nie visueel nie, maar wiskundig, gemeet met instrumente soos Renishaw-laserinterferometers en Switserse Wyler-elektroniese waterpas. 'n Skyfie-inspekteur se doel is om die platheid van 'n skyfie tot 'n paar mikron, of selfs nanometer, te meet. Om dit te doen, moet die platform self ordegroottes platter wees.
Graniet is 'n materiaal wat, deur ons gespesialiseerde handlappingstegnieke, tot 'n vlak van platheid geslyp kan word wat feitlik ongeëwenaard is. Ons meestervakmanne, waarvan baie meer as 30 jaar ondervinding het, beskik oor 'n tasbare sintuig wat hulle toelaat om 'n platheidsafwyking van slegs 'n paar mikron te "voel". Hierdie menslike aanraking, gekombineer met ons wêreldklas-toerusting, stel ons in staat om granietoppervlakplate met nanometervlak-platheid te produseer, wat hulle die ideale verwysingsvlak vir kalibrasie en inspeksie maak. Dit is die fondament waarop akkurate halfgeleierinspeksie gebou word.
Aanspreek van unieke eise van die halfgeleierbedryf
Die halfgeleierbedryf het ook spesifieke behoeftes bo en behalwe stabiliteit en platheid. Baie inspeksiestelsels gebruik byvoorbeeld luglaers vir wrywinglose beweging. Graniet is 'n uitstekende medium vir luglaergeleidingsbane as gevolg van sy inherente rigiditeit en 'n porositeit wat fyn, eenvormige lugvloei moontlik maak. Ons graniet-luglaers word op maat vervaardig om gladde, presiese beweging te verseker, wat noodsaaklik is vir hoëspoed-, hoë-akkuraatheid-inspeksie.
Daarbenewens is ons ZHHIMG® Black Granite nie-magneties en nie-geleidend, wat noodsaaklik is vir sensitiewe elektroniese komponente. Dit beïnvloed nie die elektromagnetiese velde van die toetsapparatuur of die skyfie self nie. Hierdie neutraliteit is 'n kenmerk wat baie metaalplatforms eenvoudig nie kan bied nie.
By ZHHIMG® verkoop ons nie net graniet nie. Ons bied 'n kritieke fondament vir die wêreld se mees gevorderde tegnologie. Ons verbintenis tot kliënte is om oplossings te bied wat geen bedrog, geen verberging, geen misleiding is nie. Ons werk nou saam met ons vennote, insluitend reuse soos Samsung en metrologie-instellings, om te verseker dat ons produkte nie net aan hul spesifikasies voldoen nie, maar ook bydra tot die bevordering van hul tegnologie. In die hoë-inset spel van halfgeleiervervaardiging, is ZHHIMG® se presisie granietplatforms 'n stille, onbeweeglike krag wat die stabiliteit en akkuraatheid bied wat môre se innovasies tot lewe bring.
Plasingstyd: 28 September 2025