Graniet is 'n gewilde materiaal in die waferverwerkingsbedryf as gevolg van sy uitsonderlike meganiese eienskappe en duursaamheid. Dit is 'n natuurlike klip wat uit steengroewe regoor die wêreld ontgin word en al eeue lank vir verskeie konstruksiedoeleindes gebruik word, insluitend die vervaardiging van halfgeleiertoerusting. In hierdie artikel sal ons die eienskappe van graniet en die verskillende toepassings daarvan in waferverwerkingstoerusting bespreek.
Eienskappe van graniet
Graniet is 'n stollingsgesteente wat bestaan uit mika, veldspaat en kwarts. Dit is bekend vir sy uitsonderlike sterkte, hardheid en duursaamheid, wat dit 'n ideale materiaal maak vir toepassings wat hoë presisie en akkuraatheid vereis. Graniet het 'n lae termiese uitsettingskoëffisiënt, wat beteken dat dit nie uitsit of krimp as gevolg van temperatuurveranderinge nie, wat dit hoogs stabiel maak. Daarbenewens is graniet bestand teen korrosie en chemikalieë, wat dit 'n ideale materiaal maak vir gebruik in strawwe omgewings.
Toepassings van graniet in waferverwerkingstoerusting
Graniet is 'n wyd gebruikte materiaal in die waferverwerkingsbedryf as gevolg van sy unieke kombinasie van eienskappe. Die volgende is 'n paar van die toepassings van graniet in waferverwerkingstoerusting:
1. Metrologie-instrumente
Graniet word algemeen gebruik in die vervaardiging van metrologie-gereedskap, soos koördinaatmeetmasjiene (CMM's) en optiese meetstelsels. Hierdie gereedskap benodig stabiele oppervlaktes wat vibrasies en hitte kan weerstaan. Die hoë styfheid en lae termiese uitsetting van graniet maak dit 'n ideale materiaal vir sulke toepassings.
2. Wafer-klemme
Wafelklemme word gebruik om wafels tydens die vervaardigingsproses vas te hou. Hierdie klemme benodig 'n plat en stabiele oppervlak om te verhoed dat die wafel kromtrek of buig. Graniet bied 'n plat oppervlak wat hoogs stabiel en bestand is teen kromtrekking, wat dit 'n uitstekende materiaal vir wafelklemme maak.
3. Chemiese Meganiese Poleergereedskap (CMP)
CMP-gereedskap word gebruik om wafers tydens die vervaardigingsproses te poleer. Hierdie gereedskap benodig 'n stabiele platform wat vibrasies en hitte kan weerstaan. Die uitstekende styfheid en lae termiese uitsetting van graniet maak dit 'n ideale materiaal vir CMP-gereedskap.
4. Waferinspeksietoerusting
Wafer-inspeksietoerusting word gebruik om wafers vir defekte en gebreke te inspekteer. Hierdie gereedskap benodig 'n stabiele en plat oppervlak om akkurate metings te verseker. Graniet bied 'n stabiele en plat oppervlak wat bestand is teen kromtrekking, wat dit 'n ideale materiaal vir wafer-inspeksietoerusting maak.
Gevolgtrekking
Ten slotte, graniet is 'n wyd gebruikte materiaal in die waferverwerkingsbedryf as gevolg van sy uitsonderlike meganiese eienskappe en duursaamheid. Dit word algemeen gebruik in die vervaardiging van metrologiegereedskap, wafer-klemme, CMP-gereedskap en wafer-inspeksietoerusting. Die unieke kombinasie van eienskappe maak dit 'n ideale materiaal vir toepassings wat hoë presisie en akkuraatheid vereis. Met sy vele voordele bly graniet 'n gewilde keuse vir waferverwerkingstoerusting, en die gebruik daarvan sal waarskynlik in die toekoms aanhou groei.
Plasingstyd: 27 Desember 2023