Wat is die standaarde en spesifikasies vir granietkomponente in halfgeleier -toerusting?

Granietkomponente word wyd gebruik in halfgeleier -toerusting as gevolg van hul hoë stabiliteit en duursaamheid. Hulle is verantwoordelik vir die handhawing van die akkuraatheid en akkuraatheid van halfgeleiervervaardigingsprosesse. Die effektiwiteit en betroubaarheid van granietkomponente hang egter af van die standaarde en spesifikasies wat tydens hul ontwerp, vervaardiging en installasie gehandhaaf word.

Die volgende is enkele van die standaarde en spesifikasies waaraan die gebruik moet word van granietkomponente in halfgeleier -toerusting:

1. Materiaaldigtheid: Die digtheid van die granietmateriaal wat in die vervaardiging van granietkomponente gebruik word, moet ongeveer 2,65 g/cm3 wees. Dit is die digtheid van die natuurlike granietmateriaal, en dit verseker konsekwentheid en betroubaarheid in die eienskappe van die granietkomponente.

2. Vlatheid: platheid is een van die belangrikste spesifikasies vir granietkomponente wat in halfgeleiertoerusting gebruik word. Die platheid van die granietoppervlak moet onder 0,001 mm/m2 wees. Dit verseker dat die oppervlak van die komponent plat en gelyk is, wat noodsaaklik is vir halfgeleiervervaardigingsprosesse.

3. Oppervlakte afwerking: Die oppervlakafwerking van granietkomponente moet van hoë gehalte wees, met 'n oppervlakruwheid onder 0,4 µm. Dit verseker dat die oppervlak van die granietkomponent 'n lae wrywingskoëffisiënt het, wat van kritieke belang is vir die gladde werking van halfgeleier -toerusting.

4. Termiese uitbreidingskoëffisiënt: Halfgeleier -toerusting werk by verskillende temperature, en granietkomponente moet termiese skommelinge kan weerstaan ​​sonder vervorming. Die termiese uitbreidingskoëffisiënt van graniet wat in halfgeleier-toerusting gebruik word, moet onder 2 x 10^-6 /° C wees.

5. Dimensionele verdraagsaamheid: Dimensionele verdraagsaamheid is van uiterste belang vir die prestasie van granietkomponente. Die dimensionele toleransie van granietkomponente moet binne ± 0,1 mm wees vir alle kritieke afmetings.

6. Hardheid en slytweerstand: Hardheid en slytweerstand is noodsaaklike spesifikasies vir granietkomponente wat in halfgeleier -toerusting gebruik word. Graniet het 'n hardheid van MOHS-skaal 6-7, wat dit 'n geskikte materiaal maak vir gebruik in halfgeleiertoerusting-toepassings.

7. Isolasieprestasie: Granietkomponente wat in halfgeleier -toerusting gebruik word, moet uitstekende isolasieprestasie hê om skade aan sensitiewe elektroniese komponente te voorkom. Elektriese weerstand moet bo 10^9 Ω/cm wees.

8. Chemiese weerstand: Granietkomponente moet bestand wees teen algemene chemikalieë wat in halfgeleiervervaardigingsprosesse gebruik word, soos sure en alkalies.

Ten slotte is die standaarde en spesifikasies vir granietkomponente wat in halfgeleiertoerusting gebruik word, van kardinale belang om die lang lewe en betroubaarheid van beide die komponente en die toerusting waaraan hulle gebruik word, te verseker. Bogenoemde riglyne moet streng nagekom word tydens die ontwerp, vervaardiging en installasieprosesse om te verseker dat die komponente van die hoogste gehalte is. Deur hierdie standaarde en spesifikasies te volg, kan die vervaardigers van halfgeleiers verseker dat die werkverrigting van hul toerusting optimaal bly, wat lei tot verhoogde produktiwiteit en winsgewendheid.

presisie graniet11


Postyd: MAR-20-2024