Granietkomponente word wyd gebruik in halfgeleiertoerusting as gevolg van hul hoë stabiliteit en duursaamheid. Hulle is verantwoordelik vir die handhawing van die presisie en akkuraatheid van halfgeleiervervaardigingsprosesse. Die doeltreffendheid en betroubaarheid van granietkomponente hang egter af van die standaarde en spesifikasies wat gehandhaaf word tydens hul ontwerp, vervaardiging en installasie.
Die volgende is 'n paar van die standaarde en spesifikasies wat nagekom moet word wanneer granietkomponente in halfgeleiertoerusting gebruik word:
1. Materiaaldigtheid: Die digtheid van die granietmateriaal wat in die vervaardiging van granietkomponente gebruik word, moet ongeveer 2.65g/cm3 wees. Dit is die digtheid van die natuurlike granietmateriaal, en dit verseker konsekwentheid en betroubaarheid in die eienskappe van die granietkomponente.
2. Platheid: Platheid is een van die belangrikste spesifikasies vir granietkomponente wat in halfgeleiertoerusting gebruik word. Die platheid van die granietoppervlak moet onder 0.001 mm/m2 wees. Dit verseker dat die komponent se oppervlak plat en gelyk is, wat noodsaaklik is vir halfgeleiervervaardigingsprosesse.
3. Oppervlakafwerking: Die oppervlakafwerking van granietkomponente moet van hoë gehalte wees, met 'n oppervlakruheid onder 0.4µm. Dit verseker dat die oppervlak van die granietkomponent 'n lae wrywingskoëffisiënt het, wat krities is vir die gladde werking van halfgeleiertoerusting.
4. Termiese Uitsettingskoëffisiënt: Halfgeleiertoerusting werk by verskillende temperature, en granietkomponente moet termiese skommelinge sonder vervorming kan weerstaan. Die termiese uitsettingskoëffisiënt van graniet wat in halfgeleiertoerusting gebruik word, moet onder 2 x 10^-6 /°C wees.
5. Dimensionele Toleransie: Dimensionele toleransie is van kritieke belang vir die werkverrigting van granietkomponente. Die dimensionele toleransie van granietkomponente moet binne ±0.1 mm wees vir alle kritieke afmetings.
6. Hardheid en slytasieweerstand: Hardheid en slytasieweerstand is noodsaaklike spesifikasies vir granietkomponente wat in halfgeleiertoerusting gebruik word. Graniet het 'n hardheid van Mohs-skaal 6-7, wat dit 'n geskikte materiaal maak vir gebruik in halfgeleiertoerustingtoepassings.
7. Isolasieprestasie: Granietkomponente wat in halfgeleiertoerusting gebruik word, moet uitstekende isolasieprestasie hê om skade aan sensitiewe elektroniese komponente te voorkom. Elektriese weerstand moet bo 10^9 Ω/cm wees.
8. Chemiese weerstand: Granietkomponente moet bestand wees teen algemene chemikalieë wat in halfgeleiervervaardigingsprosesse gebruik word, soos sure en alkalieë.
Ten slotte, die standaarde en spesifikasies vir granietkomponente wat in halfgeleiertoerusting gebruik word, is van kardinale belang om die lang lewensduur en betroubaarheid van beide die komponente en die toerusting waarin hulle gebruik word, te verseker. Bogenoemde riglyne moet streng nagekom word tydens die ontwerp-, vervaardigings- en installasieprosesse om te verseker dat die komponente van die hoogste gehalte is. Deur hierdie standaarde en spesifikasies te volg, kan halfgeleiervervaardigers verseker dat hul toerusting se werkverrigting optimaal bly, wat lei tot verhoogde produktiwiteit en winsgewendheid.
Plasingstyd: 20 Maart 2024