Graniet was 'n algemeen gebruikte materiaal in die halfgeleierbedryf vir sy uitstekende meganiese eienskappe, termiese stabiliteit en 'n lae koëffisiënt van termiese uitbreiding. Met die toenemende vraag na hoër akkuraatheid en produktiwiteit, het alternatiewe materiale egter na vore gekom as lewensvatbare opsies vir die vervaardiging van komponente vir halfgeleier-toerusting. In hierdie artikel sal ons sommige van die alternatiewe materiale vir granietonderdele in halfgeleier -toerusting ondersoek en hul voor- en nadele vergelyk.
Alternatiewe materiale vir granietonderdele
1. Glaskeramiese materiale
Glaskeramiese materiale, soos Zerodur en Cervit, het wydverspreide gebruik in die halfgeleierbedryf verkry as gevolg van hul lae termiese uitbreidingskoëffisiënt, wat naby die van silikon is. Gevolglik kan hierdie materiale beter termiese stabiliteit en verhoogde presisie in die halfgeleiervervaardigingsproses bied. In die besonder het Zerodur 'n hoë mate van homogeniteit en stabiliteit, wat dit geskik maak vir die vervaardiging van litografie -toerusting.
Voordele:
- Lae koëffisiënt van termiese uitbreiding
- Hoë presisie en stabiliteit
- Geskik vir toepassings met 'n hoë temperatuur
Nadele:
- Hoër koste in vergelyking met graniet
- Relatief bros, kan uitdagings inhou met die bewerking en hantering
2. Keramiek
Keramiekmateriaal, soos aluminiumoksied (Al2O3), silikonkarbied (SIC) en silikonnitrid (SI3N4), het uitstekende meganiese eienskappe, weerstand met 'n hoë temperatuur en lae termiese uitbreidingskoëffisiënt. Hierdie eienskappe maak keramiek ideaal vir onderdele vir halfgeleiertoerusting wat hoë termiese stabiliteit en akkuraatheid benodig, soos wafelfases en chucks.
Voordele:
- Hoë termiese stabiliteit en sterkte
- Lae termiese uitbreidingskoëffisiënt
- Hoë slytweerstand en chemiese traagheid
Nadele:
- Kan bros wees en geneig is tot kraak, veral tydens bewerking en hantering
- Die bewerking en poleer van keramiek kan uitdagend en tydrowend wees
3. Metale
Metaalgebaseerde materiale, soos vlekvrye staal en titanium, is vir sommige onderdele vir halfgeleiertoerusting gebruik as gevolg van hul uitstekende bewerkbaarheid en hoë sterkte. Dit word gereeld gebruik in toepassings waar hoë termiese stabiliteit nie nodig is nie, soos kameronderdele, koppelings en voedings.
Voordele:
- Goeie bewerkbaarheid en sweisbaarheid
- Hoë sterkte en smeebaarheid
- Lae koste in vergelyking met sommige van die alternatiewe materiale
Nadele:
- Hoë termiese uitbreidingskoëffisiënt
- Nie geskik vir toepassings met hoë temperatuur nie as gevolg van kwessies rakende termiese uitbreiding
- vatbaar vir korrosie en besoedeling
Gevolgtrekking:
Samevattend, hoewel graniet 'n gewilde keuse was vir onderdele vir halfgeleiertoerusting, het alternatiewe materiale na vore gekom, elk met unieke voordele en nadele. Glaskeramiese materiale is baie presies en stabiel, maar kan bros wees. Keramiek is sterk en het uitstekende termiese stabiliteit, maar kan ook bros wees, wat dit meer uitdagend maak om te vervaardig. Metale is goedkoop, bewerkbaar en rekbaar, maar hulle het 'n hoër koëffisiënt van termiese uitbreiding en is vatbaar vir korrosie en besmetting. Wanneer u materiaal vir halfgeleier -toerusting kies, is dit van kardinale belang om die spesifieke vereistes van die toepassing te oorweeg en materiaal te kies wat die koste, werkverrigting en betroubaarheid balanseer.
Postyd: Mrt-19-2024