Graniet is 'n algemeen gebruikte materiaal in die halfgeleierbedryf vir sy uitstekende meganiese eienskappe, termiese stabiliteit en lae termiese uitsettingskoëffisiënt.Met die steeds toenemende vraag na hoër akkuraatheid en produktiwiteit, het alternatiewe materiale egter na vore gekom as lewensvatbare opsies vir die vervaardiging van halfgeleiertoerustingkomponente.In hierdie artikel sal ons 'n paar van die alternatiewe materiale vir granietonderdele in halfgeleiertoerusting ondersoek en hul voordele en nadele vergelyk.
Alternatiewe materiale vir granietonderdele
1. Glas-keramiek materiaal
Glaskeramiekmateriale, soos Zerodur en Cervit, het wydverspreide gebruik in die halfgeleierbedryf gekry vanweë hul lae termiese uitsettingskoëffisiënt, wat naby dié van silikon is.Gevolglik kan hierdie materiale beter termiese stabiliteit en verbeterde presisie in die halfgeleiervervaardigingsproses bied.Zerodur, veral, het 'n hoë mate van homogeniteit en stabiliteit, wat dit geskik maak vir die vervaardiging van litografie-toerusting.
Voordele:
- Lae koëffisiënt van termiese uitsetting
- Hoë presisie en stabiliteit
- Geskik vir hoë-temperatuur toepassings
Nadele:
- Hoër koste in vergelyking met graniet
- Relatief bros, kan uitdagings in bewerking en hantering inhou
2. Keramiek
Keramiekmateriale, soos aluminiumoksied (Al2O3), silikonkarbied (SiC) en silikonnitried (Si3N4), het uitstekende meganiese eienskappe, hoë-temperatuurweerstand en lae termiese uitsettingskoëffisiënt.Hierdie eienskappe maak keramiek ideaal vir halfgeleiertoerustingonderdele wat hoë termiese stabiliteit en presisie vereis, soos wafer stadiums en chucks.
Voordele:
- Hoë termiese stabiliteit en sterkte
- Lae termiese uitsettingskoëffisiënt
- Hoë slytasieweerstand en chemiese traagheid
Nadele:
- Kan bros wees en geneig tot krake, veral tydens bewerking en hantering
- Die bewerking en polering van keramiek kan uitdagend en tydrowend wees
3. Metale
Metaalgebaseerde materiale, soos vlekvrye staal en titanium, is vir sommige halfgeleiertoerustingonderdele gebruik as gevolg van hul uitstekende bewerkbaarheid en hoë sterkte.Hulle word algemeen gebruik in toepassings waar hoë termiese stabiliteit nie vereis word nie, soos kameronderdele, koppelings en deurvoere.
Voordele:
- Goeie bewerkbaarheid en sweisbaarheid
- Hoë sterkte en rekbaarheid
- Lae koste in vergelyking met sommige van die alternatiewe materiale
Nadele:
- Hoë termiese uitsettingskoëffisiënt
- Nie geskik vir hoë-temperatuur toepassings nie as gevolg van termiese uitsetting probleme
- Vatbaar vir korrosie en kontaminasie
Afsluiting:
Ter opsomming, terwyl graniet 'n gewilde keuse vir halfgeleiertoerustingonderdele was, het alternatiewe materiale na vore gekom, elk met unieke voordele en nadele.Glaskeramiekmateriaal is hoogs presies en stabiel, maar kan bros wees.Keramiek is sterk en het uitstekende termiese stabiliteit, maar kan ook bros wees, wat dit meer uitdagend maak om te vervaardig.Metale is goedkoop, bewerkbaar en rekbaar, maar hulle het 'n hoër termiese uitsettingskoëffisiënt en is vatbaar vir korrosie en besoedeling.Wanneer materiale vir halfgeleiertoerusting gekies word, is dit van kardinale belang om die spesifieke vereistes van die toepassing in ag te neem en materiaal te kies wat koste, werkverrigting en betroubaarheid balanseer.
Postyd: 19-Mrt-2024