In die veld van halfgeleiervervaardiging speel outomatiese optiese inspeksie (AOI) toerusting 'n belangrike rol in die versekering van die gehalte van skyfies. Selfs 'n effense verbetering in die akkuraatheid van die opsporing kan 'n groot transformasie in die hele bedryf teweegbring. Die toerustingbasis, as 'n sleutelkomponent, het 'n diepgaande impak op die akkuraatheid van die opsporing. In onlangse jare het 'n rewolusie in basismateriale deur die bedryf gevee. Graniet, met sy uitstekende vibrasie-onderdrukkingsprestasie, het geleidelik tradisionele gietystermateriale vervang en die nuwe gunsteling van AOI-inspeksietoerusting geword. Die doeltreffendheid van vibrasie-onderdrukking het met 92% toegeneem in vergelyking met gietyster. Watter tegnologiese deurbrake en bedryfsveranderinge lê agter hierdie data?
Die streng vereistes vir vibrasie in halfgeleier AOI inspeksietoerusting
Die vervaardigingsproses van halfgeleierskyfies het die nanoskaal-era betree. Tydens die AOI-inspeksieproses kan selfs uiters klein vibrasies afwykings in die inspeksieresultate veroorsaak. Die fyn skrape, leemtes en ander defekte op die oppervlak van die skyfie is dikwels op die mikrometer- of selfs nanometervlak. Die optiese lense van die opsporingstoerusting moet hierdie besonderhede met uiters hoë presisie vasvang. Enige vibrasie wat deur die basis oorgedra word, sal veroorsaak dat die lens skuif of bewe, wat lei tot vae beeldverkryging en sodoende die akkuraatheid van defekherkenning beïnvloed.
Gietystermateriale is eens wyd gebruik in die basisse van AOI-inspeksietoerusting omdat hulle sekere sterkte en verwerkingsprestasie het, en die koste relatief laag is. Wat vibrasie-onderdrukking betref, het gietyster egter ooglopende tekortkominge. Die interne struktuur van gietyster bevat 'n groot aantal grafietvelle, wat gelykstaande is aan klein leemtes binne en die kontinuïteit van die materiaal ontwrig. Wanneer die toerusting werk en vibrasie genereer, of deur eksterne omgewingsvibrasie versteur word, kan die vibrasie-energie nie effektief in die gietyster verswak word nie, maar word dit voortdurend gereflekteer en tussen die grafietvel en die matriks geplaas, wat lei tot die voortdurende voortplanting van vibrasie. Relevante eksperimente toon dat nadat die gietysterbasis deur eksterne vibrasie opgewek is, die vibrasie-dempingstyd 'n paar sekondes kan duur, wat 'n ernstige impak op die deteksie-akkuraatheid gedurende hierdie tydperk sal hê. Daarbenewens is die elastiese modulus van gietyster relatief laag. Onder die langtermynwerking van toerusting se swaartekrag en vibrasiespanning is dit geneig tot vervorming, wat die vibrasie-oordrag verder versterk.
Die geheim agter 'n 92%-toename in die vibrasie-onderdrukkingsdoeltreffendheid van granietbasisse
Graniet, as 'n soort natuursteen, het oor honderde miljoene jare 'n uiters digte en eenvormige interne struktuur deur geologiese prosesse gevorm. Dit bestaan hoofsaaklik uit mineraalkristalle soos kwarts en veldspaat wat nou saamgevoeg is, en die chemiese bindings tussen die kristalle is sterk en stabiel. Hierdie struktuur gee graniet 'n uitstekende vibrasie-onderdrukkingsvermoë. Wanneer die vibrasie na die granietbasis oorgedra word, kan die mineraalkristalle daarin die vibrasie-energie vinnig in hitte-energie omskakel en dit versprei. Studies toon dat die demping van graniet verskeie kere hoër is as dié van gietyster, wat beteken dat dit vibrasie-energie meer doeltreffend kan absorbeer, wat die amplitude en duur van die vibrasie verminder. Na professionele toetsing, onder dieselfde vibrasie-opwekkingstoestande, is die vibrasie-dempingstyd van die granietbasis slegs 8% van dié van gietyster, en die vibrasie-onderdrukkingsdoeltreffendheid het met 92% toegeneem.
Die hoë hardheid en hoë elastisiteitsmodulus van graniet dra ook beduidend by. Die hoë hardheid verseker dat die basis minder geneig is om te vervorm wanneer dit die gewig van die toerusting en eksterne kragimpakte dra, en handhaaf altyd 'n stabiele ondersteunende toestand. Die hoë elastisiteitsmodulus verseker dat die basis vinnig na sy oorspronklike vorm kan terugkeer wanneer dit aan vibrasie onderwerp word, wat die ophoping van vibrasie verminder. Boonop het graniet uitstekende termiese stabiliteit en word dit amper nie beïnvloed deur veranderinge in omgewingstemperatuur nie, wat termiese uitsetting en sametrekkingsvervorming wat deur temperatuurskommelings veroorsaak word, vermy, en sodoende die stabiliteit van vibrasie-onderdrukkingsprestasie verder verseker.
Nywerheidstransformasie en vooruitsigte wat deur granietbasisse veroorsaak word
Die AOI-inspeksietoerusting met 'n granietbasis het die akkuraatheid van opsporing aansienlik verbeter. Dit kan defekte in kleiner skyfies betroubaar identifiseer, wat die beoordelingsfout tot binne 1% verminder en die opbrengskoers van skyfieproduksie aansienlik verhoog. Intussen is die stabiliteit van die toerusting verbeter, wat die aantal afskakelings vir onderhoud wat deur vibrasieprobleme veroorsaak word, verminder, die lewensduur van die toerusting verleng en die algehele bedryfskoste verlaag.
Plasingstyd: 14 Mei 2025