In die velde van hoë-end vervaardiging en baanbrekende wetenskaplike navorsing, is die presisie statiese druk lug drywende bewegingsplatform die sleuteltoerusting om ultra-presisie werking te bereik. Die graniet presisie basis is die kern ondersteunende deel van die platform, en die prestasie daarvan is nou verwant aan die werksomgewing. Begrip en voldoening aan hierdie omgewingsvereistes kan nie net die hoë-presisie werking van die platform verseker nie, maar ook 'n belangrike deel van die onderneming om sy mededingendheid in verwante velde te verbeter, wat hieronder in detail beskryf word.
1. Temperatuur: presiese beheer om dimensionele stabiliteit te verseker
Alhoewel graniet bekend is vir sy stabiliteit, is die termiese uitsettingskoëffisiënt nie nul nie, en klein temperatuurveranderinge kan steeds die dimensionele akkuraatheid daarvan beïnvloed. Oor die algemeen is die termiese uitsettingskoëffisiënt van graniet 5-7 ×10⁻⁶/℃. In die toepassingscenario van die presisie statiese druk lug drywende bewegingsplatform, word hierdie geringe verandering deur die platform versterk, wat kan lei tot 'n afwyking van bewegingsakkuraatheid. Byvoorbeeld, in die halfgeleier-skyfievervaardigingsproses, kan die litografieproses vir die posisioneringsakkuraatheidsvereistes van danami-vlak, die omgewingstemperatuurfluktuasie van 1 °C, die sylengte van 'n 1 meter granietbasis 5-7 mikron lineêre uitsetting of sametrekking produseer, wat genoeg is om die skyfie-litografiepatroon afwyking te veroorsaak, wat die opbrengs verminder. Daarom moet die ideale werksomgewingtemperatuur van die presisie statiese druk lug drywende platform wat met 'n graniet-presisiebasis toegerus is, streng beheer word teen 20 °C ±1 °C. Ondernemings kan 'n hoë-presisie konstante temperatuur lugversorgingstelsel installeer, die omgewingstemperatuur voortdurend monitor en akkuraat aanpas, die grootte van die granietbasis stabiliteit handhaaf, om te verseker dat die platform hoë-presisie werking het.
2. humiditeit: redelike beheer, beskerm die basisprestasie
Humiditeit het ook 'n beduidende effek op presisie-granietbasisse. In 'n hoë humiditeitsomgewing absorbeer graniet maklik waterdamp, en daar kan kondensasie op die oppervlak wees, wat nie net die normale werking van die lugflotasiestelsel sal belemmer nie, maar ook lei tot langtermyn-erosie van die granietoppervlak, wat die akkuraatheid en lewensduur daarvan verminder. As ons die optiese lens-slypwerkswinkel as voorbeeld neem, as die humiditeit vir 'n lang tyd hoër as 60%RH is, sal die waterdamp wat op die oppervlak van die granietbasis geadsorbeer word, die eenvormigheid van die lugvlotterfilm vernietig, wat lei tot 'n afname in die lens-slypnauwkeurigheid en oppervlakdefekte. Daarom moet die relatiewe humiditeit van die werksomgewing tussen 40%-60%RH beheer word. Ondernemings kan ontvogtigers, humiditeitsensors en ander toerusting gebruik om die humiditeit intyds te monitor en te beheer, 'n geskikte humiditeitsomgewing vir die presisie-granietbasis te skep, en die stabiele werking van die presisie statiese druk-lug-drywende bewegingsplatform te verseker.
3. netheid: streng beheer, elimineer deeltjie-inmenging
Stofdeeltjies is die "vyand" van die presisie statiese druk lug swewende bewegingsplatform, en doen groot skade aan die graniet presisie basis. Sodra die klein deeltjies die gasfilm gaping tussen die gasvlotter skuifbalk en die graniet basis binnedring, kan hulle die eenvormigheid van die gasfilm vernietig, wrywing verhoog, en selfs die oppervlak van die basis krap, wat die akkuraatheid van die platformbeweging ernstig beïnvloed. In die ultra-presisie bewerkingswerkswinkel van lugvaartonderdele, as die stofdeeltjies in die lug op die graniet basis val, kan die bewegingstrajek van die bewerkingsgereedskap afwyk, wat die bewerkingsakkuraatheid van die onderdele beïnvloed. Daarom moet die werkarea baie skoon gehou word en 'n skoonheidstandaard van 10 000 of selfs hoër bereik. Ondernemings kan stofdeeltjies in die lug filter deur hoë-doeltreffendheid lugfilters (HEPA) te installeer, en vereis dat personeel stofvrye klere, skoenbedekkings, ens. dra, om die stof wat deur mense veroorsaak word, te verminder, en die hoë-presisie bedryfsomgewing van die graniet basis en presisie statiese druk lug swewende bewegingsplatform te handhaaf.
4. Vibrasie: Doeltreffende isolasie om 'n gladde ruimte te skep
Eksterne vibrasie sal die presisie van die presisie statiese druk lug drywende platform ernstig beïnvloed, alhoewel die presisie granietbasis 'n sekere vibrasie-dempingskapasiteit het, kan die hoë sterkte vibrasie steeds sy bufferlimiet oorskry. Die vibrasie wat deur die verkeer rondom die fabriek en die werking van groot meganiese toerusting gegenereer word, word deur die grond na die granietbasis oorgedra, wat die akkuraatheid van die platformbeweging sal beïnvloed. In hoë-end CMM kan vibrasie veroorsaak dat die kontak tussen die meetsonde en die werkstuk wat gemeet moet word, onstabiel is, wat lei tot afwyking van die meetdata. Om hierdie probleem op te los, is dit nodig om effektiewe vibrasie-isolasiemaatreëls te tref, soos om vibrasie-isolasiekussings in die toerustinginstallasie-area te lê, vibrasie-isolasiefondament te bou, of 'n aktiewe vibrasie-isolasiestelsel te gebruik om eksterne vibrasie aktief te verreken, en 'n stil en stabiele werksomgewing vir die granietpresisiebasis en presisie statiese druk lug drywende bewegingsplatform te skep.
Voldoen aan die bogenoemde omgewingsvereistes om die voordele van die graniet-presisiebasis in die presisie-statiese druklug-drywende bewegingsplatform ten volle te benut, om te verseker dat die platform hoë-presisie en hoë-stabiliteit bewegingsbeheerdienste vir verskeie industrieë bied. As ondernemings aandag kan gee aan hierdie besonderhede in die produksieomgewing, sal hulle die geleentheid in presisievervaardiging, wetenskaplike navorsing en ander velde aangryp, hul mededingendheid verbeter en volhoubare ontwikkeling bereik.
Plasingstyd: 10 Apr 2025