Graniet is 'n natuurlik voorkomende rots wat al lank in waferverwerkingstoerusting gebruik word. Dit is bekend vir sy uitstekende eienskappe van lae termiese uitsetting, hoë styfheid en goeie stabiliteit. Soos alle materiale het graniet egter sy eie stel defekte wat die kwaliteit van waferverwerkingstoerusting kan beïnvloed.
Een van die grootste gebreke van graniet is die neiging om te kraak of te breek. Dit is as gevolg van die teenwoordigheid van mikroskeure wat tydens die vorming van die rots kan voorkom. As hierdie mikroskeure nie behoorlik geïdentifiseer en behandel word nie, kan hulle voortplant en lei tot die mislukking van die toerusting. Om te verhoed dat dit gebeur, moet vervaardigers van verwerkingstoerusting hoëgehalte graniet gebruik wat behandel en getoets is om te verseker dat dit vry is van mikroskeure.
Nog 'n nadeel van graniet is die vatbaarheid vir korrosie. As graniettoerusting in aanraking kom met korrosiewe omgewings, kan dit mettertyd begin agteruitgaan. Dit kan daartoe lei dat die toerusting beskadig word of nie behoorlik funksioneer nie. Om dit te voorkom, moet vervaardigers verseker dat die graniet wat in hul toerusting gebruik word, behoorlik behandel en bedek word om te verhoed dat enige korrosie plaasvind.
Graniet is ook geneig om mettertyd te kromtrek as gevolg van sy inherente termiese eienskappe. Dit is omdat graniet 'n baie lae termiese uitsettingskoëffisiënt het, wat beteken dat dit nie veel uitsit of krimp wanneer dit aan temperatuurveranderinge onderwerp word nie. Selfs 'n klein mate van uitsetting of sametrekking kan egter mettertyd kromtrekking in die toerusting veroorsaak. Dit is belangrik dat die toerustingvervaardiger die termiese eienskappe van die graniet in ag neem wanneer hulle hul toerusting ontwerp om te verhoed dat hierdie defek voorkom.
Laastens kan graniet se poreuse aard lei tot probleme met kontaminasie. As die graniet nie behoorlik verseël is nie, kan dit kontaminante absorbeer wat die kwaliteit van die wafer kan beïnvloed. Dit kan lei tot duur stilstand en verlore produksie. Om dit te voorkom, moet vervaardigers die graniet behoorlik verseël om te verhoed dat enige kontaminante geabsorbeer word.
Ten slotte, graniet is 'n uitstekende materiaal vir gebruik in waferverwerkingstoerusting. Dit is egter belangrik om bewus te wees van die defekte daarvan en die nodige voorsorgmaatreëls te tref om te verhoed dat dit voorkom. Met behoorlike sorg en onderhoud kan graniettoerusting vir baie jare aanhou funksioneer en hoëgehalte-wafers vir die halfgeleierbedryf lewer.
Plasingstyd: 27 Desember 2023