Graniet is 'n tipe harde rots wat 'n onontbeerlike materiaal in die halfgeleiervervaardigingsbedryf geword het. Die eienskappe daarvan laat dit toe om hoë temperature te weerstaan, wat dit ideaal maak vir gebruik in verskeie stadiums van halfgeleiertoestelvervaardigingsprosesse. Gevolglik het granietsamestelling uitgebreide toepassingsgebiede in halfgeleiervervaardigingsprosestoestelprodukte gevind.
Een van die mees gebruikte toepassings van granietmontering is in die konstruksie van hoë-presisie masjiengereedskapstrukture. Die rigiditeit en stabiliteit van graniet maak dit moontlik om presiese en akkurate gereedskap met min of geen vervorming te produseer. Hierdie vlak van presisie is nodig in halfgeleiervervaardigingsprosesse soos iooninplanting, waar die straal akkuraat op die wafer gerig moet word.
Nog 'n toepassing van granietmontering in halfgeleiervervaardiging is in die konstruksie van metrologietoerusting. Metrologietoerusting is noodsaaklik in halfgeleiervervaardigingsprosesse, aangesien dit die akkuraatheid van toestelle wat vervaardig word, meet en verifieer. Graniet se dimensionele stabiliteit, lae termiese uitsetting en uitstekende vibrasiedempende eienskappe maak dit die materiaal van keuse in die konstruksie van metrologietoerusting. Dit sluit groot granietoppervlaktes in wat gebruik word in die opstel en inspeksie van wafers.
Optiese tafels is nog 'n gebied van uitgebreide toepassing van granietmontering in die halfgeleierbedryf. Optiese tafels word gebruik in die toetsing van optiese toestelle soos golfgidse vir datakommunikasie. Graniet se platheid, lae termiese uitbreiding, hoë rigiditeit en meganiese stabiliteit stel dit in staat om 'n hoogs stabiele oppervlak te bied vir die montering en posisionering van optika. Graniet Optiese tafels kan die stabiliteit en rigiditeit bied wat nodig is om akkurate, presiese toetsing van optiese toestelle uit te voer.
Graniet vind ook toepassing in die konstruksie van wafer-chucks en -fases. Tydens die halfgeleiervervaardigingsproses is presisie-belyning en posisiebeheer van kritieke belang. Wafer-chucks, wat die wafers in plek hou tydens verwerking, moet posisie-akkuraatheid handhaaf terwyl hulle hoë temperature en vakuumtoestande weerstaan. Graniet het uitstekende dimensionele stabiliteit oor 'n wye reeks temperature en kan vakuumtoestande weerstaan, wat dit ideaal maak vir die konstruksie van wafer-chucks. Fases wat gebruik word in die beweging van wafers van een posisie na 'n ander, gaan deur 'n siklusvolgorde van bewegings tydens 'n halfgeleiervervaardigingsproses. Graniet-samestelling bied stabiliteit en duursaamheid wat nodig is om die deurlopende en herhalende bewegingsiklusse te verduur.
Kortliks, die toepassing van granietmontering in die halfgeleiervervaardigingsbedryf is wydverspreid. Die eienskappe daarvan soos dimensionele stabiliteit, lae termiese uitsetting, hoë rigiditeit en vibrasiedemping maak dit 'n ideale materiaal vir gebruik in verskeie stadiums van halfgeleiertoestelvervaardigingsprosesse. Van die konstruksie van hoë-presisie masjiengereedskap en metrologietoerusting tot optiese tafels en waferstadiums en -klemme, speel graniet se eienskappe 'n deurslaggewende rol in die verskaffing van stabiliteit, akkuraatheid en herhaalbaarheid wat nodig is om hoë-gehalte halfgeleiertoestelvervaardiging te bereik.
Plasingstyd: 6 Desember 2023