Graniet is 'n soort harde rots wat 'n onmisbare materiaal in die halfgeleiervervaardigingsbedryf geword het.Die eienskappe daarvan laat dit toe om hoë temperature te weerstaan, wat dit ideaal maak vir gebruik in verskeie stadiums van halfgeleier-toestelvervaardigingsprosesse.As gevolg hiervan het granietsamestelling uitgebreide toepassingsareas gevind in halfgeleiervervaardigingsprosestoestelprodukte.
Een van die mees gebruikte toepassings van granietsamestelling is in die konstruksie van hoë-presisie masjiengereedskapstrukture.Die styfheid en stabiliteit van graniet maak dit moontlik om presiese en akkurate gereedskap met min of geen vervorming te vervaardig.Hierdie vlak van akkuraatheid is nodig in halfgeleiervervaardigingsprosesse soos iooninplanting, waar die straal akkuraat op die wafer gerig moet word.
Nog 'n toepassing van granietsamestelling in halfgeleiervervaardiging is in die konstruksie van metrologietoerusting.Metrologietoerusting is noodsaaklik in halfgeleiervervaardigingsprosesse aangesien dit die akkuraatheid van toestelle wat vervaardig word meet en verifieer.Graniet se dimensionele stabiliteit, lae termiese uitsetting en uitstekende vibrasiedempende eienskappe maak dit die materiaal van keuse in die konstruksie van metrologietoerusting.Dit sluit in groot granietoppervlaktes wat gebruik word in die opstel en inspeksie van wafers.
Optiese tafels is nog 'n gebied van uitgebreide toepassing van granietsamestelling in die halfgeleierbedryf.Optiese tabelle word gebruik in die toetsing van optiese toestelle soos golfleiers vir datakommunikasie.Graniet se platheid, lae termiese uitsetting, hoë styfheid en meganiese stabiliteit stel dit in staat om 'n hoogs stabiele oppervlak vir die montering en posisionering van optika te verskaf.Graniet Optiese tafels kan die stabiliteit en rigiditeit verskaf wat nodig is om akkurate, presiese toetsing van optiese toestelle uit te voer.
Graniet vind ook toepassing in die konstruksie van wafer chucks en stadiums.Tydens die halfgeleiervervaardigingsproses is presisiebelyning en posisiebeheer van kardinale belang.Wafer chucks, wat die wafers in plek hou tydens verwerking, moet posisie akkuraatheid handhaaf terwyl dit hoë temperature en vakuum toestande weerstaan.Graniet het uitstekende dimensionele stabiliteit oor 'n wye reeks temperature en kan vakuumtoestande weerstaan, wat dit ideaal maak vir die konstruksie van wafer chucks.Stadiums wat gebruik word in die beweging van wafers van een posisie na 'n ander gaan deur 'n siklusse volgorde van bewegings tydens 'n halfgeleiervervaardigingsproses.Granietsamestelling bied stabiliteit en duursaamheid wat nodig is om die voortdurende en herhalende siklusse van beweging te dra.
Samevattend, die toepassing van granietsamestelling in die halfgeleiervervaardigingsbedryf is groot.Sy eienskappe soos dimensionele stabiliteit, lae termiese uitsetting, hoë styfheid en vibrasiedemping maak dit 'n ideale materiaal vir gebruik in verskeie stadiums van halfgeleier-toestelvervaardigingsprosesse.Van die konstruksie van hoë-presisie masjiengereedskap en metrologie-toerusting tot optiese tafels en wafer-stadiums en chucks, graniet se eienskappe speel 'n deurslaggewende rol in die verskaffing van stabiliteit, akkuraatheid en herhaalbaarheid wat nodig is om hoë-gehalte halfgeleier-toestelvervaardiging te bereik.
Postyd: Des-06-2023