In die proses van die halfgeleierbedryf wat na nanoskaalvervaardigingsprosesse beweeg, het wafersny, as 'n sleutelskakel in skyfievervaardiging, uiters streng vereistes vir toerustingstabiliteit. Die granietbasis, met sy uitstekende vibrasieweerstand en termiese stabiliteit, het 'n kernkomponent van wafersnytoerusting geword, wat 'n betroubare waarborg bied vir die bereiking van hoë-presisie en hoë-doeltreffendheid waferverwerking.
Hoë demping- en anti-vibrasie-eienskappe: Beskerming van nano-vlak sny akkuraatheid
Wanneer die wafer-snytoerusting in werking is, sal die hoëspoedrotasie van die spil, die hoëfrekwensie-vibrasie van die snygereedskap en die omgewingsvibrasie wat deur die omliggende toerusting gegenereer word, 'n beduidende impak op die snyakkuraatheid hê. Die dempingsprestasie van tradisionele metaalbasisse is beperk, wat dit moeilik maak om vibrasies vinnig te verswak, wat lei tot mikronvlak-jitter van snygereedskap en direk defekte soos afgebreekte rande en krake op wafers veroorsaak. Die hoë dempingseienskappe van die granietbasis het hierdie probleem fundamenteel opgelos.
Die interne mineraalkristalle van graniet is nou verweef en vorm 'n natuurlike energie-verspreidingsstruktuur. Wanneer die vibrasie na die basis oorgedra word, kan die interne mikrostruktuur die vibrasie-energie vinnig in termiese energie omskakel, wat doeltreffende vibrasie-demping bewerkstellig. Eksperimentele data toon dat die granietbasis onder dieselfde vibrasie-omgewing die vibrasie-amplitude met meer as 90% binne 0.5 sekondes kan verswak, terwyl die metaalbasis 3 tot 5 sekondes benodig. Hierdie uitstekende dempingsprestasie verseker dat die snygereedskap stabiel bly tydens die nanoskaal-snyproses, wat 'n gladde rand van die wafersny verseker en die afskilferingstempo effektief verminder. Byvoorbeeld, in die 5nm-wafersnyproses kan toerusting met 'n granietbasis die afskilferinggrootte binne 10μm beheer, wat meer as 40% hoër is as dié van toerusting met 'n metaalbasis.
Ultra-lae termiese uitbreidingskoëffisiënt: Bestand teen die invloed van temperatuurskommelings
Tydens die snyproses van wafers kan hitte wat gegenereer word deur die wrywing van die snygereedskap, hitteafvoer van die langtermynwerking van die toerusting, en veranderinge in die werkswinkelomgewingtemperatuur alles termiese vervorming van die toerustingkomponente veroorsaak. Die termiese uitsettingskoëffisiënt van metaalmateriale is relatief hoog (ongeveer 12 × 10⁻⁶/℃). Wanneer die temperatuur met 5℃ fluktueer, kan 'n 1 meter lange metaalbasis 'n vervorming van 60 μm ondergaan, wat veroorsaak dat die snyposisie verskuif en die snyakkuraatheid ernstig beïnvloed.
Die termiese uitsettingskoëffisiënt van die granietbasis is slegs (4-8) ×10⁻⁶/℃, wat minder as een derde van dié van metaalmateriale is. Onder dieselfde temperatuurverandering kan die dimensionele verandering amper geïgnoreer word. Die gemete data van 'n sekere halfgeleiervervaardigingsonderneming toon dat tydens 'n 8-uur aaneenlopende hoë-intensiteit wafer-snyoperasie, wanneer die omgewingstemperatuur met 10℃ fluktueer, die snyposisie-verskuiwing van die toerusting met 'n granietbasis minder as 20μm is, terwyl dié van die toerusting met 'n metaalbasis 60μm oorskry. Hierdie stabiele termiese werkverrigting verseker dat die relatiewe posisie tussen die snygereedskap en die wafer te alle tye presies bly. Selfs onder langtermyn-aaneenlopende werking of drastiese veranderinge in omgewingstemperatuur, kan die konsekwentheid van snyakkuraatheid gehandhaaf word.
Styfheid en slytasieweerstand: Verseker die langtermyn stabiele werking van die toerusting
Benewens die voordele van vibrasiebestandheid en termiese stabiliteit, verbeter die hoë rigiditeit en slytasieweerstand van die granietbasis die betroubaarheid van die wafer-snytoerusting verder. Graniet het 'n hardheid van 6 tot 7 op die Mohs-skaal en 'n druksterkte van meer as 120 MPa. Dit kan die geweldige druk en impakkrag tydens die snyproses weerstaan en is nie geneig tot vervorming nie. Intussen gee die digte struktuur dit uitstekende slytasieweerstand. Selfs tydens gereelde snybewerkings is die oppervlak van die basis nie geneig tot slytasie nie, wat verseker dat die toerusting vir 'n lang tyd hoë-presisie werking handhaaf.
In praktiese toepassings het baie wafervervaardigingsondernemings die produkopbrengs en produksiedoeltreffendheid aansienlik verbeter deur snytoerusting met granietbasisse aan te neem. Data van 'n wêreldwyd toonaangewende gietery toon dat die wafer-snyopbrengs na die bekendstelling van granietbasistoerusting van 88% tot meer as 95% toegeneem het, die toerustingonderhoudsiklus met drie keer verleng is, wat produksiekoste effektief verminder en markmededingendheid verbeter.
Ten slotte bied die granietbasis, met sy uitstekende vibrasieweerstand, termiese stabiliteit, hoë styfheid en slytasieweerstand, omvattende werkverrigtingswaarborge vir wafer-snytoerusting. Namate halfgeleiertegnologie vorder na hoër presisie, sal granietbasisse 'n meer belangrike rol speel in die veld van wafervervaardiging, wat die voortdurende innoverende ontwikkeling van die halfgeleierbedryf bevorder.
Plasingstyd: 20 Mei 2025