1. Dimensionele akkuraatheid
Platheid: die platheid van die oppervlak van die basis moet 'n baie hoë standaard bereik, en die platheidsfout moet nie ±0.5μm in enige 100mm×100mm area oorskry nie; Vir die hele basisvlak word die platheidsfout binne ±1μm beheer. Dit verseker dat die sleutelkomponente van halfgeleiertoerusting, soos die blootstellingskop van die litografietoerusting en die sondetafel van die skyfie-opsporingstoerusting, stabiel geïnstalleer en bedryf kan word op 'n hoë-presisie vlak, die akkuraatheid van die optiese pad en stroombaanverbinding van die toerusting verseker, en die verplasingsafwyking van die komponente wat veroorsaak word deur die ongelyke vlak van die basis vermy, wat die vervaardiging en opsporingsakkuraatheid van die halfgeleierskyfie beïnvloed.
Reguitheid: Die reguitheid van elke rand van die basis is van kritieke belang. In die lengterigting moet die reguitheidsfout nie ±1 μm per 1 m oorskry nie; die diagonale reguitheidsfout word binne ±1.5 μm beheer. As ons byvoorbeeld 'n hoë-presisie litografiemasjien neem, wanneer die tafel langs die geleier van die basis beweeg, beïnvloed die reguitheid van die rand van die basis direk die trajekakkuraatheid van die tafel. As die reguitheid nie aan standaard is nie, sal die litografiepatroon verwring en misvorm word, wat lei tot 'n vermindering van die skyfievervaardigingsopbrengs.
Parallelisme: Die parallelismefout van die boonste en onderste oppervlaktes van die basis moet binne ±1μm beheer word. Goeie parallelisme kan die stabiliteit van die algehele swaartepunt na die installering van die toerusting verseker, en die krag van elke komponent is uniform. In halfgeleierwafelvervaardigingstoerusting, as die boonste en onderste oppervlaktes van die basis nie parallel is nie, sal die wafel tydens verwerking kantel, wat die prosesuniformiteit soos ets en bedekking beïnvloed, en dus die konsekwentheid van die skyfieprestasie beïnvloed.
Tweedens, materiaaleienskappe
Hardheid: Die hardheid van die granietbasismateriaal moet die Shore-hardheid HS70 of hoër bereik. Die hoë hardheid kan die slytasie wat veroorsaak word deur gereelde beweging en wrywing van komponente tydens die werking van die toerusting, effektief weerstaan, wat verseker dat die basis 'n hoë presisiegrootte kan handhaaf na langdurige gebruik. In die skyfieverpakkingstoerusting gryp die robotarm die skyfie gereeld vas en plaas dit op die basis, en die hoë hardheid van die basis kan verseker dat die oppervlak nie maklik krap nie en die akkuraatheid van die robotarmbeweging handhaaf.
Digtheid: Die materiaaldigtheid moet tussen 2.6-3.1 g/cm³ wees. Die gepaste digtheid sorg vir goeie stabiliteit van die basis, wat voldoende stewigheid kan verseker om die toerusting te ondersteun, en sal nie probleme veroorsaak met die installering en vervoer van die toerusting as gevolg van oormatige gewig nie. In groot halfgeleier-inspeksietoerusting help stabiele basisdigtheid om vibrasie-oordrag tydens toerustingwerking te verminder en die akkuraatheid van die opsporing te verbeter.
Termiese stabiliteit: lineêre uitbreidingskoëffisiënt is minder as 5 × 10⁻⁶/℃. Halfgeleiertoerusting is baie sensitief vir temperatuurveranderinge, en die termiese stabiliteit van die basis hou direk verband met die akkuraatheid van die toerusting. Tydens die litografieproses kan temperatuurskommelings die uitbreiding of sametrekking van die basis veroorsaak, wat lei tot 'n afwyking in die grootte van die blootstellingspatroon. Die granietbasis met 'n lae lineêre uitbreidingskoëffisiënt kan die grootteverandering in 'n baie klein reeks beheer wanneer die bedryfstemperatuur van die toerusting verander (gewoonlik 20-30 ° C) om die akkuraatheid van die litografie te verseker.
Derdens, oppervlakkwaliteit
Ruheid: Die oppervlakruheid Ra-waarde op die basis oorskry nie 0.05μm nie. Die ultragladde oppervlak kan die adsorpsie van stof en onsuiwerhede verminder en die impak op die skoonheid van die halfgeleier-skyfievervaardigingsomgewing verminder. In die stofvrye werkswinkel van skyfievervaardiging kan klein deeltjies lei tot defekte soos kortsluiting van die skyfie, en die gladde oppervlak van die basis help om 'n skoon omgewing van die werkswinkel te handhaaf en die skyfie-opbrengs te verbeter.
Mikroskopiese defekte: Die oppervlak van die basis mag geen sigbare krake, sandgate, porieë en ander defekte hê nie. Op mikroskopiese vlak mag die aantal defekte met 'n deursnee groter as 1 μm per vierkante sentimeter nie meer as 3 deur elektronmikroskopie wees nie. Hierdie defekte sal die strukturele sterkte en oppervlakvlakheid van die basis beïnvloed, en dan die stabiliteit en akkuraatheid van die toerusting beïnvloed.
Vierdens, stabiliteit en skokbestandheid
Dinamiese stabiliteit: In die gesimuleerde vibrasie-omgewing wat gegenereer word deur die werking van halfgeleiertoerusting (vibrasiefrekwensiebereik 10-1000Hz, amplitude 0.01-0.1mm), moet die vibrasieverplasing van sleutelmonteringspunte op die basis binne ±0.05μm beheer word. As ons halfgeleiertoetstoerusting as voorbeeld neem, kan die akkuraatheid van die toetssein beïnvloed word as die toestel se eie vibrasie en die vibrasie van die omliggende omgewing tydens werking na die basis oorgedra word. Goeie dinamiese stabiliteit kan betroubare toetsresultate verseker.
Seismiese weerstand: Die basis moet uitstekende seismiese werkverrigting hê, en die vibrasie-energie vinnig kan verswak wanneer dit aan skielike eksterne vibrasie (soos seismiese golfsimulasievibrasie) onderwerp word, en verseker dat die relatiewe posisie van die sleutelkomponente van die toerusting binne ±0.1μm verander. In halfgeleierfabrieke in aardbewingsgeneigde gebiede kan aardbewingbestande basisse duur halfgeleiertoerusting effektief beskerm, wat die risiko van toerustingskade en produksieversteuring as gevolg van vibrasie verminder.
5. Chemiese stabiliteit
Korrosiebestandheid: Die granietbasis moet die korrosie van algemene chemiese middels in die halfgeleiervervaardigingsproses, soos hidrofluoorsuur, aqua regia, ens., weerstaan. Nadat dit vir 24 uur in 'n hidrofluoorsuuroplossing met 'n massafraksie van 40% geweek is, moet die verlies aan oppervlakkwaliteit nie 0.01% oorskry nie; Week vir 12 uur in aqua regia (volumeverhouding van soutsuur tot salpetersuur 3:1), en daar is geen duidelike spore van korrosie op die oppervlak nie. Die halfgeleiervervaardigingsproses behels 'n verskeidenheid chemiese ets- en skoonmaakprosesse, en die goeie korrosiebestandheid van die basis kan verseker dat die langtermyngebruik in die chemiese omgewing nie geërodeer word nie, en die akkuraatheid en strukturele integriteit gehandhaaf word.
Anti-besoedeling: Die basismateriaal het uiters lae absorpsie van algemene besoedelstowwe in die halfgeleiervervaardigingsomgewing, soos organiese gasse, metaalione, ens. Wanneer dit vir 72 uur in 'n omgewing geplaas word wat 10 dpm organiese gasse (bv. benseen, tolueen) en 1 dpm metaalione (bv. koperione, ysterione) bevat, is die prestasieverandering wat veroorsaak word deur adsorpsie van besoedelstowwe op die basisoppervlak, weglaatbaar. Dit verhoed dat kontaminante van die basisoppervlak na die skyfievervaardigingsarea migreer en die skyfiekwaliteit beïnvloed.
Plasingstyd: 28 Maart 2025