In watter halfgeleiertoestelle word granietbed die meeste gebruik?

Granietbed is 'n belangrike komponent in verskillende halfgeleiertoestelle. As 'n baie stabiele en starre materiaal word graniet wyd gebruik as 'n basis vir halfgeleierverwerkingstoerusting. Dit word gekenmerk deur die lae termiese uitbreidingskoëffisiënt, hoë dimensionele stabiliteit en uitstekende meganiese eienskappe. As gevolg van hierdie eienskappe, word granietbed die meeste gebruik in drie verskillende soorte halfgeleiertoestelle - metrologie -toerusting, litografie -toerusting en inspeksietoerusting.

Metrologie -toerusting word gebruik om die kritieke afmetings van die halfgeleiertoestelle te meet en op te spoor. Dit speel 'n belangrike rol in die handhawing van die kwaliteit en konsekwentheid van die halfgeleiervervaardigingsproses. Metrologie -toerusting bevat instrumente soos optiese mikroskope, elektronmikroskope en atoomkragmikroskope (AFMS). Aangesien die werkverrigting van hierdie meetinstrumente afhang van hul stabiliteit, presisie en vibrasieweerstand, is graniet die ideale keuse vir hul bedmateriaal. Die eenvormigheid en stabiliteit van die granietbed is 'n stabiele platform vir die instrumente, wat die akkuraatheid en betroubaarheid daarvan verhoog.

Litografie -toerusting word gebruik om die mikroskyfpatrone op die wafel te maak. Die litografieproses benodig 'n hoë vlak van akkuraatheid en akkuraatheid om komplekse stroombane te skep en die prestasie van die chip te verbeter. Die litografie -toerusting bevat stepper- en skandeerderstelsels wat lig gebruik om beelde op die wafel oor te dra. Aangesien die litografieproses baie sensitief is vir vibrasie en termiese veranderinge, is 'n bed van hoë gehalte noodsaaklik om die stabiliteit en herhaalbaarheid van die litografieproses te verseker. Granietbeddens bied die vereiste stabiliteit en streng vibrasie -dempingsprestasie vir litografiestelsels. Met die granietbed kan die trap- of skandeerderstelsel presiese ruimtelike verhoudings handhaaf wat hoë akkuraatheid en finale kwaliteit van die produk verseker.

Inspeksietoerusting word gebruik om enige defekte in die halfgeleiertoestelle op te spoor. Inspeksietoerusting bevat stelsels soos laserskande -mikroskope, elektronmikroskope en optiese mikroskope. Met die behoefte dat hierdie toestelle baie akkuraat, stabiel en vibrasiebestand is, is granietbeddens die perfekte materiaal. Graniet se meganiese eienskappe en dimensionele stabiliteit help met die isolasie van vibrasies, wat die akkuraatheid van die uitset van die inspeksietoerusting verhoog.

Ten slotte is granietbedding van kardinale belang vir die halfgeleierbedryf en word dit wyd gebruik in verskillende soorte toerusting. Die unieke eienskappe soos dimensionele stabiliteit, lae termiese uitbreidingskoëffisiënt en uitstekende meganiese stabiliteit maak graniet die ideale keuse vir die bedmateriaal van halfgeleier -toerusting. Aangesien die granietbed van hoë gehalte die nodige stabiliteits-, presisie- en vibrasieweerstand teen die halfgeleier-toerusting bied, verbeter dit uiteindelik die kwaliteit van die finale produk. Daarom sal die gebruik van granietbed in halfgeleier -toerusting sekerlik nog jare duur.