Granietmateriale word wyd gebruik in die halfgeleierbedryf as gevolg van hul uitstekende eienskappe, soos hoë stabiliteit, lae termiese uitbreiding en hoë weerstand teen korrosie. Hierdie eienskappe maak graniet 'n ideale materiaal vir die bou van hoë-presisie komponente in 'n wafer-oordragstelsel.
In die halfgeleiervervaardigingsproses speel die wafer-oordragstelsel 'n kritieke rol in die vervoer van wafers oor verskillende stadiums van die vervaardigingsproses. Presisie en akkuraatheid is die noodsaaklike vereistes vir hierdie stelsels, aangesien selfs geringe afwykings die hele proses in gevaar kan stel. Daarom moet komponente in die wafer-oordragstelsel van hoëgehalte-materiale gemaak word, en graniet voldoen aan daardie kriteria.
Sommige dele van die wafer-oordragstelsel wat van granietmateriale gemaak is, sluit in:
1. Vakuum Chuck Table
Die vakuum-klemtafel word gebruik om die wafer tydens die proses vas te hou, en dit moet 'n stabiele oppervlak hê om te verseker dat die wafer nie beskadig word nie. Graniet is 'n ideale materiaal vir die maak van hierdie tafel omdat dit 'n plat, nie-poreuse oppervlak het wat hoë stabiliteit en presisie bied. Daarbenewens het graniet 'n lae termiese uitsettingskoëffisiënt, wat dit bestand maak teen temperatuurveranderinge wat dimensionele veranderinge in die wafer kan veroorsaak.
2. Lugdraende stadium
Die lugdraende stadium word gebruik om die wafer deur verskillende stadiums van die vervaardigingsproses te vervoer. Die stadium is ontwerp om 'n wrywinglose beweging te bied, wat hoë presisie en stabiliteit vereis. Graniet word in hierdie toepassing gebruik omdat dit 'n stewige en harde klip is, en dit weerstaan vervorming en slytasie oor tyd.
3. Lineêre Bewegingsgidse
Die lineêre bewegingsgidse word gebruik om die lugdraende stadium te lei, en hulle moet akkuraat geposisioneer word om foute te verminder. Graniet word gebruik om hierdie gids te bou omdat dit uitstekende meganiese stabiliteit en sterkte het. Die materiaal is ook korrosiebestand, wat die lang lewensduur van die gidsstelsel verseker.
4. Metrologietoerusting
Metrologietoerusting word gebruik om die afmetings en eienskappe van die wafer tydens die vervaardigingsproses te meet. Graniet is 'n ideale materiaal vir die bou van hierdie toerusting omdat dit hoë styfheid, lae uitsetting en minimale vervorming onder las het. Boonop verseker graniet se termiese stabiliteit dat die metrologietoerusting oor tyd stabiel en akkuraat bly.
Ten slotte, die halfgeleierbedryf maak staat op presisie en akkuraatheid, en granietmateriale het bewys dat hulle hoogs betroubaar en stabiel is in die vervaardigingsproses. Met baie kritieke komponente in die wafer-oordragstelsel wat hoë stabiliteit, presisie en lae termiese uitbreiding vereis, het ingenieurs hulle tot granietmateriale gewend om aan hierdie kritieke vereistes te voldoen.
Plasingstyd: 19 Maart 2024