Granietmateriaal word wyd gebruik in die halfgeleierbedryf as gevolg van hul uitstekende eienskappe, soos hoë stabiliteit, lae termiese uitbreiding en hoë weerstand teen korrosie. Hierdie eienskappe maak graniet 'n ideale materiaal om komponente met 'n hoë presisie in 'n wafeloordragstelsel te bou.
In die halfgeleiervervaardigingsproses speel die Wafer -oordragstelsel 'n kritieke rol in die vervoer van wafers oor verskillende stadiums van die vervaardigingsproses. Presisie en akkuraatheid is die belangrikste vereistes vir hierdie stelsels, aangesien selfs geringe afwykings die hele proses in gevaar kan stel. Daarom moet komponente in die wafeloordragstelsel gemaak word van materiale van hoë gehalte, en graniet voldoen aan hierdie kriteria.
Sommige dele van die wafeloordragstelsel wat van granietmateriaal vervaardig is, sluit in:
1. Vakuum Chuck Table
Die vakuum Chuck -tabel word gebruik om die wafel tydens die proses te hou, en dit moet 'n stabiele oppervlak hê om te verseker dat die wafel nie beskadig word nie. Graniet is 'n ideale materiaal om hierdie tafel te maak omdat dit 'n plat, nie-poreuse oppervlak het wat 'n hoë stabiliteit en akkuraatheid bied. Daarbenewens het graniet 'n lae koëffisiënt van termiese uitbreiding, wat dit bestand maak teen temperatuurveranderings wat dimensionele veranderinge in die wafel kan veroorsaak.
2. Lugdraende stadium
Die lugdraende stadium word gebruik om die wafel deur verskillende stadiums van die vervaardigingsproses te vervoer. Die verhoog is ontwerp om 'n wrywinglose beweging te bied, wat hoë presisie en stabiliteit verg. Graniet word in hierdie toepassing gebruik omdat dit 'n stywe en harde klip is, en dit weerstaan om vervorming en dra mettertyd te wees.
3. Lineêre bewegingsgidse
Die lineêre bewegingsgidse word gebruik om die lugdraende stadium te lei, en hulle moet akkuraat geplaas word om foute te verminder. Graniet word gebruik om hierdie gids te bou omdat dit uitstekende meganiese stabiliteit en sterkte het. Die materiaal is ook korrosiebestand, wat die lang lewe van die gidsstelsel verseker.
4. Metrologie -toerusting
Metrologie -toerusting word gebruik om die afmetings en eienskappe van die wafel tydens die vervaardigingsproses te meet. Graniet is 'n ideale materiaal om hierdie toerusting te bou, omdat dit 'n hoë styfheid, lae uitbreiding en minimale vervorming onder las het. Boonop verseker die termiese stabiliteit van graniet dat die metrologie -toerusting mettertyd stabiel en akkuraat bly.
Ten slotte is die halfgeleierbedryf staatmaak op presisie en akkuraatheid, en granietmateriaal het bewys dat dit baie betroubaar en stabiel is in die vervaardigingsproses. Met baie kritieke komponente in die wafel -oordragstelsel wat hoë stabiliteit, akkuraatheid en lae termiese uitbreiding benodig, het ingenieurs hul tot granietmateriaal beywer om aan hierdie kritieke vereistes te voldoen.
Postyd: Mrt-19-2024