Graniet is 'n harde en duursame materiaal wat dikwels in die konstruksiebedryf gebruik word. Dit het egter ook eienskappe wat dit nuttig maak in halfgeleiervervaardiging, veral in die vervaardiging en verwerking van geïntegreerde stroombane. Granietkomponente, soos graniettafels en granietblokke, word wyd gebruik vir hul stabiliteit, platheid en lae termiese uitbreidingskoëffisiënt.
Een van die primêre gebruike van granietkomponente in halfgeleiervervaardiging is in die vervaardigingsproses. Silikonwafers, die basiese boustene van geïntegreerde stroombane, moet met hoë presisie en akkuraatheid vervaardig word. Enige vervorming of beweging tydens die proses kan lei tot defekte wat die kwaliteit en funksionaliteit van die geïntegreerde stroombane kan beïnvloed. Graniettafels, met hul hoë stabiliteit en platheid, bied 'n goeie platform vir die waferverwerkingstoerusting. Hulle is ook bestand teen termiese uitsetting en sametrekking wat veroorsaak word deur die verhitting en verkoeling wat in die proses benodig word.
Granietblokke word ook in halfgeleierverwerking gebruik vir hul termiese stabiliteit. Tydens ets- of afsettingsprosesse word warm gasse of plasmas gebruik om die oppervlak van die silikonwafer te wysig. Die temperatuur van die wafer moet beheer word om te verseker dat die proses doeltreffend en akkuraat uitgevoer word. Granietblokke, met hul lae termiese uitbreidingskoëffisiënt, help om die temperatuur van die wafer te stabiliseer, wat die risiko van temperatuurskommelings verminder wat die kwaliteit van die verwerkte materiaal kan beïnvloed.
Afgesien van die vervaardigings- en verwerkingsprosesse, word granietkomponente ook in die metrologie- en inspeksiefases van halfgeleiervervaardiging gebruik. Metrologiemetings word gedoen om te verseker dat die grootte, vorm en posisie van die strukture op die wafer binne die vereiste spesifikasies is. Granietblokke word as verwysingsstandaarde in hierdie metings gebruik vanweë hul dimensionele stabiliteit en akkuraatheid. Hulle word ook in inspeksiefases gebruik, waar die kwaliteit van die geïntegreerde stroombane onder hoë vergroting nagegaan word.
Oor die algemeen het die gebruik van granietkomponente in halfgeleiervervaardiging die afgelope paar jaar toegeneem. Die behoefte aan hoë presisie, akkuraatheid en stabiliteit in die vervaardiging en verwerking van geïntegreerde stroombane het die aanvaarding van hierdie materiale deur halfgeleiervervaardigers gedryf. Die unieke eienskappe van graniet, soos die hardheid, stabiliteit en lae termiese uitbreidingskoëffisiënt, maak dit 'n uitstekende keuse vir gebruik in hierdie prosesse. Met die voortgesette ontwikkeling en verbetering van halfgeleiertegnologie word verwag dat die gebruik van granietkomponente in die toekoms verder sal groei.
Plasingstyd: 05 Desember 2023