In velde soos halfgeleiervervaardiging en presisie-meetinstrumente, bepaal die akkuraatheid van graniet-presisieplatforms direk die operasionele kwaliteit van die toerusting. Om te verseker dat die platform se akkuraatheid aan die standaarde voldoen, moet daar vanuit twee aspekte gepoog word: die opsporing van sleutelaanwysers en voldoening aan standaardnorme.
Kernaanduidingopsporing: Multidimensionele beheer van akkuraatheid
Platheidopsporing: Bepaling van die "platheid" van die verwysingsvlak
Platheid is die kernaanwyser van graniet-presisieplatforms, en dit word gewoonlik gemeet deur laserinterferometers of elektroniese waterpas. Die laserinterferometer kan die klein golwings op die platformoppervlak presies meet deur 'n laserstraal uit te straal en die beginsel van liginterferensie te gebruik, met 'n akkuraatheid wat die sub-mikronvlak bereik. Die elektroniese waterpas meet deur verskeie kere te beweeg en teken 'n driedimensionele kontoerkaart van die platformoppervlak om te bepaal of daar enige plaaslike uitsteeksels of depressies is. Byvoorbeeld, die granietplatforms wat in halfgeleier-fotolitografiemasjiene gebruik word, moet 'n platheid van ±0.5μm/m hê, wat beteken dat die hoogteverskil binne 'n lengte van 1 meter nie 'n halwe mikrometer moet oorskry nie. Slegs deur middel van hoë-presisie-opsporingstoerusting kan hierdie streng standaard verseker word.
2. Reguitheidsopsporing: Verseker die "reguitheid" van lineêre beweging
Vir platforms wat presisie bewegende dele dra, is reguitheid van kardinale belang. Die algemene metodes vir opsporing is die draadmetode of die laserkollimator. Die draadmetode behels die opskorting van hoë-presisie staaldrade en die vergelyking van die gaping tussen die platformoppervlak en die staaldrade om die reguitheid te bepaal. Die laserkollimator gebruik die lineêre voortplantingseienskappe van laser om die lineêre fout van die installasie-oppervlak van die platform se geleidingsrail op te spoor. As die reguitheid nie aan die standaard voldoen nie, sal dit veroorsaak dat die toerusting tydens beweging skuif, wat die verwerking- of meetnauwkeurigheid beïnvloed.
3. Oppervlakruheidopsporing: Verseker die "fynheid" van kontak
Die oppervlakruheid van die platform beïnvloed die passing van komponentinstallasie. Oor die algemeen word 'n stylusruheidmeter of 'n optiese mikroskoop vir opsporing gebruik. Die stylus-tipe instrument registreer die hoogteveranderinge van die mikroskopiese profiel deur die platformoppervlak met 'n fyn sonde in kontak te bring. Optiese mikroskope kan die oppervlaktekstuur direk waarneem. In hoë-presisie toepassings moet die oppervlakruheid van granietplatforms beheer word teen Ra≤0.05μm, wat gelykstaande is aan 'n spieëlagtige effek, wat verseker dat presisiekomponente styf pas tydens installasie en vibrasie of verplasing wat deur gapings veroorsaak word, vermy word.
Die presisiestandaarde volg: internasionale norme en interne beheer van die onderneming
Tans word ISO 25178- en GB/T 24632-standaarde internasionaal algemeen gebruik as die basis vir die bepaling van die akkuraatheid van granietplatforms, en daar is duidelike klassifikasies vir aanwysers soos platheid en reguitheid. Daarbenewens stel hoëklas-vervaardigingsondernemings dikwels strenger interne beheerstandaarde. Byvoorbeeld, die platheidsvereiste vir die granietplatform van die fotolitografiemasjien is 30% hoër as die internasionale standaard. Wanneer toetse uitgevoer word, moet die gemete data met die ooreenstemmende standaarde vergelyk word. Slegs platforms wat ten volle aan die standaarde voldoen, kan stabiele werkverrigting in presisietoerusting verseker.
Die inspeksie van die akkuraatheid van graniet-presisieplatforms is 'n sistematiese projek. Slegs deur kernaanwysers soos platheid, reguitheid en oppervlakruheid streng te toets, en deur internasionale en ondernemingsstandaarde na te kom, kan die hoë presisie en betroubaarheid van die platform gewaarborg word, wat 'n stewige fondament lê vir hoë-end vervaardigingsvelde soos halfgeleiers en presisie-instrumente.
Plasingstyd: 21 Mei 2025