Granietmasjienbasisse word swaar gebruik in waferverwerkingstoerustingprodukte as gevolg van hul superieure eienskappe soos hoë styfheid, stabiliteit en presisie. Die montering, toetsing en kalibrering van 'n granietmasjienbasis is 'n kritieke proses wat die grootste aandag aan detail, presisie en akkuraatheid vereis. In hierdie artikel sal ons die stap-vir-stap proses van die montering, toetsing en kalibrering van 'n granietmasjienbasis vir waferverwerkingstoerustingprodukte bespreek.
Montering
Die eerste stap is om die graniet-oppervlakplaat, basis en kolom voor te berei vir montering. Maak seker dat al die oppervlaktes skoon, droog en vry van enige puin, stof of olie is. Plaas die nivelleringsstutte in die basis en plaas die oppervlakplaat bo-op dit. Pas die nivelleringsstutte aan sodat die oppervlakplaat horisontaal en gelyk is. Maak seker dat die oppervlakplaat gelyk is met die basis en kolom.
Installeer vervolgens die kolom op die basis en maak dit vas met boute. Gebruik 'n wringkragsleutel om die boute vas te draai tot die vervaardiger se aanbevole wringkragwaarde. Kontroleer die vlak van die kolom en pas die nivelleringsstutte aan indien nodig.
Laastens, installeer die spileenheid bo-op die kolom. Gebruik 'n wringkragsleutel om die boute vas te draai tot die vervaardiger se aanbevole wringkragwaarde. Kontroleer die vlak van die spileenheid en verstel die nivelleringsboute indien nodig.
Toetsing
Nadat die masjienbasis gemonteer is, is die volgende stap om die funksionaliteit en akkuraatheid daarvan te toets. Koppel die kragtoevoer aan en skakel die masjien aan. Maak seker dat al die komponente soos motors, ratte, bande en laers behoorlik funksioneer en sonder enige abnormaliteite of ongewone geluide.
Om die akkuraatheid van die masjien te toets, gebruik 'n presisie-wyserplaat om die uitloop van die spil te meet. Plaas die wyserplaat op die oppervlakplaat en draai die spil. Die maksimum toelaatbare uitloop moet minder as 0.002 mm wees. Indien die uitloop groter is as die toelaatbare limiet, verstel die nivelleringsboute en kontroleer weer.
Kalibrasie
Kalibrasie is die kritieke stap om die akkuraatheid en presisie van die masjienbasis te verseker. Die kalibrasieproses behels die toets en aanpassing van die masjien se parameters, soos spoed, posisionering en akkuraatheid, om te verseker dat die masjien aan die vervaardiger se spesifikasies voldoen.
Om die masjien te kalibreer, benodig jy 'n kalibrasie-instrument, wat 'n laserinterferometer, 'n laseropsporer of 'n balstaaf insluit. Hierdie gereedskap meet die masjien se beweging, posisie en belyning met hoë akkuraatheid.
Begin deur die masjien se lineêre en hoekige asse te meet. Gebruik die kalibrasie-instrument om die masjien se beweging en posisie oor 'n gespesifiseerde afstand of hoek te meet. Vergelyk die gemete waardes met die vervaardiger se spesifikasies. Indien daar enige afwyking is, pas die masjien se parameters, soos die motors, ratte en aandrywers, aan om die gemete waardes binne die toelaatbare perke te bring.
Toets vervolgens die masjien se sirkelvormige interpolasiefunksie. Gebruik die kalibrasie-instrument om 'n sirkelvormige pad te skep en die masjien se beweging en posisie te meet. Vergelyk weer die gemete waardes met die vervaardiger se spesifikasies en pas die parameters aan indien nodig.
Laastens, toets die masjien se herhaalbaarheid. Meet die posisie van die masjien op verskillende punte oor 'n spesifieke tydperk. Vergelyk die gemete waardes en kontroleer vir enige afwykings. Indien daar enige afwykings is, pas die masjien se parameters aan en herhaal die toets.
Gevolgtrekking
Die montering, toetsing en kalibrasie van 'n granietmasjienbasis vir waferverwerkingstoerustingprodukte is 'n kritieke proses wat geduld, aandag aan detail en presisie vereis. Deur hierdie stappe te volg, kan u verseker dat die masjien aan die vervaardiger se spesifikasies voldoen en funksioneer met akkuraatheid, stabiliteit en presisie.
Plasingstyd: 28 Desember 2023