IIn die halfgeleiervervaardigingsbedryf is die akkuraatheid van wafer-inspeksietoerusting van kardinale belang om die gehalte van geïntegreerde stroombane te verseker. Hoë-presisie granietmasjienbasisse, soos dié wat deur ZHHIMG® verskaf word, speel 'n belangrike rol in die verbetering van die werkverrigting van sulke toerusting. Hier is hoe hulle 'n verskil maak.
Uitsonderlike Dimensionele Stabiliteit Graniet spog met 'n uiters lae termiese uitbreidingskoëffisiënt, ongeveer (4–8) × 10⁻⁶/℃, aansienlik laer as baie metale. In die streng beheerde omgewing van halfgeleierfabrieke, waar selfs geringe temperatuurskommelings meetfoute kan veroorsaak, bly granietmasjienbasisse stabiel. Hierdie stabiliteit verseker dat die posisionering van komponente in waferinspeksietoerusting akkuraat bly, wat enige termies-geïnduseerde afwykings voorkom wat die akkuraatheid van inspeksieresultate kan beïnvloed.
Superieure VibrasiedempingProduksievloere word dikwels gevul met vibrasies van verskeie bronne. Graniet se inherente dempingseienskappe, met 'n dempingsverhouding van 0.05–0.1, absorbeer en versprei hierdie vibrasies effektief. Vir waferinspeksie
aksie, wat hoë-resolusie beeldvorming en presiese sensorlesings vereis, is die vermindering in vibrasies wat deur granietbasisse verskaf word, van onskatbare waarde. Dit verminder die interferensie wat beelde kan vervaag of sensordata kan verdraai, wat die toerusting in staat stel om duidelike en akkurate inligting oor die wafer se oppervlak en interne struktuur vas te lê.
Hoë rigiditeit en slytasieweerstand Met 'n digtheid van ongeveer 3100 kg/m³ bied ZHHIMG® se granietmasjienbasisse merkwaardige rigiditeit. Hulle kan die swaar komponente van wafer-inspeksietoerusting ondersteun sonder om te vervorm, wat die belyning van optiese en meganiese stelsels handhaaf. Boonop verseker graniet se hoë hardheid (Mohs-skaal 6–7) en uitstekende slytasieweerstand dat die oppervlak van die masjienbasis mettertyd plat en glad bly. Hierdie konsekwentheid is noodsaaklik vir langtermyn akkuraatheid, aangesien enige slytasie of vervorming op die basis die toerusting se presisie geleidelik kan verminder.
Chemiese traagheidHalfgeleiervervaardiging behels blootstelling aan verskeie chemikalieë. Graniet se chemiese traagheid maak dit bestand teen korrosie van hierdie stowwe. Hierdie eienskap beskerm die integriteit van die masjienbasis en voorkom chemiese skade wat die stabiliteit en akkuraatheid van die inspeksietoerusting kan beïnvloed.
Ten slotte, hoë-presisie granietmasjienbasisse is nie net 'n komponent nie, maar 'n sleutelfaktor om die streng akkuraatheidsvereistes van wafer-inspeksietoerusting te bereik. Wanneer u granietmasjienbasisse kies, kies vir betroubare verskaffers soos ZHHIMG®. Met verskeie sertifisering en 'n verbintenis tot kwaliteit, verseker ZHHIMG® dat elke granietmasjienbasis die betroubaarheid en werkverrigting lewer wat nodig is vir gevorderde halfgeleiervervaardiging.
Plasingstyd: 3 Junie 2025