In die veld van halfgeleiervervaardiging is sub-mikron-presisie die sleutel tot die versekering van skyfieprestasie, en die (ZHHIMG®) granietbasis, met sy materiaaleienskappe, presiese verwerking en innoverende ontwerp, het die kernwaarborg geword vir die bereiking van hierdie presisie.
Vanuit die oogpunt van materiaaleienskappe het die swart graniet wat deur ZHHIMG® gekies is, 'n digtheid van ongeveer 3100 kg/m³, met 'n digte interne struktuur. Hierdie hoë digtheid gee dit uitstekende stabiliteit en rigiditeit. Tydens die werking van halfgeleiertoerusting sal die rotasie van motors en die beweging van meganiese komponente binne die toerusting vibrasies genereer. Die granietbasis kan meer as 90% van die vibrasie-energie effektief absorbeer, wat die impak van vibrasie op die akkuraatheid van die toerusting aansienlik verminder. Intussen stel die uiters lae termiese uitsettingskoëffisiënt dit in staat om die vervorming binne 'n baie klein reeks te hou wanneer die omgewingstemperatuur wissel, wat 'n stabiele ondersteuningsfondament vir halfgeleiertoerusting bied en die verplasing van toerustingkomponente as gevolg van temperatuurveranderinge voorkom, wat die akkuraatheid kan beïnvloed.
Wat verwerking en vervaardiging betref, gebruik die ZHHIMG®-fabriek internasionale gevorderde verwerkingstoerusting en het vier supergroot slypmasjiene (elke masjien kos meer as 500 000 dollar), wat hoë-presisie slypwerk op graniet kan uitvoer. Deur middel van vyf-as-skakeling CNC-bewerking en ander prosesse, kan die platheid van die masjienbasis die nanometervlak bereik, wat 'n ultra-plat verwysingsoppervlak bied vir die installering van halfgeleiertoerusting en die presiese posisionering van elke komponent van die toerusting verseker. Boonop bied die werkswinkel met konstante temperatuur en humiditeit (wat 'n oppervlakte van 10 000 vierkante meter dek) 'n stabiele omgewing vir die verwerking. Die 500 mm breë en 2000 mm diep anti-vibrasie-slote daaromheen, sowel as die stil hyskrane, isoleer eksterne vibrasie-interferensie effektief en verseker die verwerkingsakkuraatheid van die masjienbasis.
Daarbenewens het ZHHIMG® ook 'n sterk aanpassingsvermoë. Vir die spesiale vereistes van halfgeleiertoerusting kan presiese installasiegate en kabelbakke voorafvervaardig word om perfekte versoenbaarheid tussen die toerusting en die basis te bereik. Terselfdertyd, in kombinasie met wêreldklas metrologie- en toetsapparatuur soos die Duitse Mahr-minuutmeter (met 'n akkuraatheid van 0.5um) en die Switserse WYLER elektroniese waterpas, word die masjienbasis streng geïnspekteer en gekalibreer om te verseker dat elke masjienbasis aan die streng vereistes van halfgeleiertoerusting vir submikronvlak-akkuraatheid kan voldoen.
Dit is juis die kombinasie van hierdie voordele wat die ZHHIMG®-granietbasis 'n betroubare keuse maak om submikron-presisie in halfgeleiertoerusting te bereik, wat halfgeleiervervaardiging help om na hoër-presisievelde te beweeg.
Plasingstyd: 18 Junie 2025