In die presiese wêreld van halfgeleiervervaardiging is nie-vernietigende toetsing van wafers 'n sleutelskakel om die gehalte van skyfies te verseker. Die skynbaar onbeduidende granietbasis is eintlik die "onbesonge held" wat die akkuraatheid van die opsporing bepaal. Hoe op aarde beïnvloed dit die toetsresultate? Hierdie artikel sal 'n diepgaande analise doen vanuit dimensies soos materiaaleienskappe en strukturele ontwerp.
1. Stabiele fondament: Die natuurlike voordele van graniet lê 'n stewige fondament vir presisie
1. Uitstekende seismiese prestasie
Tydens die werking van die wafer nie-vernietigende toetsapparatuur, sal die rotasie van die motor en die beweging van meganiese komponente vibrasies genereer. Indien hierdie vibrasies nie effektief onderdruk word nie, sal dit die toetsakkuraatheid ernstig belemmer. Die binnekant van graniet is nou verweef met mineraalkristalle soos kwarts en veldspaat. Die unieke struktuur daarvan gee dit 'n natuurlike vibrasie-absorpsievermoë, wat meer as 90% van die vibrasie-energie van toerusting kan absorbeer. Die werklike meetdata van 'n sekere halfgeleiervervaardiger toon dat die vibrasie-amplitude van die opsporingsapparatuur na die gebruik van die granietbasis van 12μm tot 2μm verminder is, wat die afwyking van die opsporingssein wat deur vibrasie veroorsaak word, effektief vermy.
2. Uiters lae termiese uitbreidingskoëffisiënt
Tydens die opsporingsproses sal faktore soos toerustingverhitting en veranderinge in omgewingstemperatuur die stabiliteit van die masjienbasis beïnvloed. Gewone materiale sit aansienlik uit wanneer dit verhit word, maar die termiese uitbreidingskoëffisiënt van graniet is slegs 1/5 van dié van staal. Selfs al wissel die omgewingstemperatuur met 10 ℃, kan die vervorming daarvan geïgnoreer word. Dit stel die granietbasis in staat om 'n stabiele verwysingsplatform vir die inspeksietoerusting te bied, wat verseker dat die relatiewe posisie tussen die inspeksiesonde en die wafer te alle tye akkuraat bly en inspeksiefoute wat deur termiese vervorming veroorsaak word, vermy word.
Tweedens, presiese ontwerp: Strukturele optimalisering verbeter die betroubaarheid van opsporing verder
Hoë-presisie verwerking en platheidswaarborg
Die hoëgehalte-granietbasis word verwerk deur gevorderde vyf-as-skakel-CNC-tegnologie, met 'n platheid van ±0.5μm/m, wat 'n ultra-plat installasieverwysing vir inspeksietoerusting bied. In waferinspeksie is die vertikaliteit en gelykheid van die inspeksiesonde van kritieke belang vir die inspeksieresultate. 'n Hoë-presisie-granietbasis kan die presiese posisionering van die sonde verseker, wat die inspeksiedata meer akkuraat en betroubaar maak.
2. Aangepaste strukturele aanpassing
Granietmasjienbasisse kan aangepas word vir verskillende wafer-nie-vernietigende toetsapparatuur en prosesvereistes. Byvoorbeeld, om aan die vereistes van optiese inspeksietoerusting vir ligrefleksie te voldoen, kan die oppervlak van die masjienbasis spesiaal behandel word; Om aan die installasievereistes van ultrasoniese toetsapparatuur te voldoen, kan die basis voorafvervaardig word met presiese installasiegate en kabelbakke, wat vinnige en akkurate installasie van die toerusting moontlik maak en opsporingsafwykings wat deur installasiefoute veroorsaak word, verminder.
III. Langtermyn stabiliteit: Verminder presisieverlies veroorsaak deur toerustingonderhoud
Graniet het hoë hardheid en sterk slytasieweerstand, met 'n Mohs-hardheid van 6 tot 7, wat drie keer die slytasieweerstand van gewone staal is. Tydens langtermyn-inspeksiebedrywighede is die oppervlak van die masjienbasis nie geneig tot slytasie nie en kan dit altyd 'n goeie presisietoestand handhaaf. In teenstelling hiermee kan die basisse van ander materiale veranderinge in die installasieverwysing van die toerusting veroorsaak as gevolg van slytasie, wat die akkuraatheid van die opsporing beïnvloed en gereelde kalibrasie en onderhoud vereis. Die lang lewensduur en hoë stabiliteit van die granietbasis verminder die frekwensie van toerustingonderhoud effektief en verlaag die risiko van presisieverlies wat tydens die onderhoudsproses kan voorkom.
Van skokbestandheid, hittebestandheid tot presiese ontwerp, elke kenmerk van die granietbasis beskerm die akkuraatheid van nie-vernietigende toetsing van wafers. In vandag se halfgeleiervervaardigingsera wat uiterste presisie nastreef, is die keuse van 'n hoëgehalte granietbasis soos om 'n stewige laag versekering by die akkuraatheid en betroubaarheid van die toetsresultate te voeg.
Plasingstyd: 18 Junie 2025