In die "superfabriek" van skyfievervaardiging dra elke wafer so groot soos 'n vingernael presiese stroombane, en die sleutel om te bepaal of hierdie stroombane presies gevorm kan word, is eintlik versteek in 'n onopvallende klip - dit is graniet. Vandag praat ons oor die "geheime wapen" van graniet - die dempingsvermoë daarvan - en hoe dit die "beskermengel" van wafer-skandeertoerusting word.
Wat is demping? Kan klippe ook "vibrasies absorbeer"?
Demping klink baie professioneel, maar in werklikheid is die beginsel daarvan baie eenvoudig. Stel jou voor jy stop skielik terwyl jy hardloop. As daar geen demping is nie, sal jou liggaam vorentoe jaag as gevolg van traagheid. En demping is soos 'n onsigbare hand wat jou help om vinnig te "rem". Die interne struktuur van graniet bestaan uit verweefde mineraalkristalle soos kwarts en veldspaat, en daar is baie klein skeure en wrywingspunte tussen hierdie kristalle. Wanneer eksterne vibrasies na die graniet oorgedra word, begin hierdie skeure en wrywingspunte "werk", wat die energie van die vibrasies in hitte-energie omskakel en dit geleidelik laat verdwyn, sodat die vibrasies vinnig kan stop. Dit is net soos om 'n "superskokbreker" op die toestel te installeer, wat dit nie meer "hande skud" nie.
Wafer-skandering: 'n Klein foutjie kan tot 'n groot fout lei
Wafer-skandeertoestelle is soos presisiekameras wat "foto's" van wafers neem, wat stroombaanpatrone op nanoskaal opspoor en teken. Tydens die werking van die toerusting sal die rotasie van die motor en die beweging van meganiese komponente egter beide hoëfrekwensie-vibrasies genereer. As hierdie vibrasies nie beheer word nie, sal die skanderingslens "vaag" word soos 'n onstabiele kamera, wat lei tot onakkurate opsporingsdata en selfs die hele wafer direk skrap.
Wanneer 'n gewone metaalbasis vibrasie teëkom, slaan dit dikwels "hard teen hard", met die vibrasie wat heen en weer in die metaal weerkaats word, wat die skudding al hoe erger maak. Graniet, met sy uitstekende dempvermoë, kan meer as 80% van die vibrasie-energie absorbeer. 'n Werklike geval van 'n sekere halfgeleierfabriek toon dat voor die granietbasis vervang is, die rande van die waferbeelde wat deur die skandeertoerusting geneem is, vaag was, met 'n afwyking so hoog as ±3μm. Na die oorskakeling na 'n granietbasis is die beeldhelderheid aansienlik verbeter, die afwyking is verminder tot ±0.5μm, en die opbrengskoers het van 82% tot 96% gestyg!
Resonansiekrisis: Hoe "ontlont graniet die gevaar"?
Afgesien van die vibrasie van die toerusting self, kan geringe vibrasies van die eksterne omgewing (soos die werking van masjiene langsaan of die voetstappe van werkers wat loop) ook groot probleme veroorsaak. Wanneer die eksterne vibrasiefrekwensie ooreenstem met die frekwensie van die toerusting self, sal resonansie voorkom, net soos om jellie te skud, hoe groter die amplitude, hoe meer jy skud. Die dempingseienskappe van graniet is soos om "klankdigte oordopjes" op die toerusting te sit, wat die resonante frekwensiebereik van die toerusting verbreed en dit minder geneig maak om in harmonie met die buitewêreld te wees. Data toon dat na die gebruik van die granietbasis die risiko van toerustingresonansie met 95% verminder is, en die stabiliteit met drie keer verbeter is!
Die verligting van "demping" in die lewe
Trouens, die beginsel van demping is ook baie algemeen in die daaglikse lewe. Die skokbrekers van 'n motor stel ons in staat om glad op hobbelrige paaie te ry, en die geraasonderdrukkende funksie van oorfone kan eksterne geraas blokkeer. Al hierdie dinge bereik stabiliteit deur "energie te absorbeer". Graniet het hierdie vermoë tot die uiterste gebring en het 'n onontbeerlike sleutelmateriaal op die gebied van skyfievervaardiging geword.
Volgende keer as jy graniet sien, moenie dit net as 'n gewone klip beskou nie! In die gesofistikeerde wêreld van halfgeleiervervaardiging is dit juis hierdie oënskynlik gewone materiale wat, met hul unieke "superkragte", tegnologie voortdurend vorentoe dryf.
Plasingstyd: 17 Junie 2025