In die presisie-laboratorium vir die vervaardiging van skyfies, is daar 'n skynbaar onopvallende "agter-die-skerms held" - die granietmasjienbasis. Moenie hierdie klip onderskat nie. Dit is die sleutel om die akkuraatheid van nie-vernietigende toetsing van wafers te verseker! Vandag kyk ons na hoe dit die opsporingstoerusting altyd "horisontaal en vertikaal" hou.
1. Gebore met 'n "stabiele geen"
Graniet is geen gewone klip nie. Die interne struktuur daarvan is soos 'n dig ineengeskakelde "mineraallegkaart". Kwarts, veldspaat en ander kristalle is dig gerangskik, met uiters hoë digtheid en amper geen leemtes nie. Dit is net soos om 'n huis met gewapende beton te bou, wat beide solied en stabiel is. Wanneer die inspeksietoerusting daarop "sit", selfs al weeg dit etlike tonne, is die vervorming van die granietbasis weglaatbaar, slegs een tiende van dié van staal!
Nog meer indrukwekkend is dat dit amper nie bang is vir temperatuurveranderinge nie. Gewone metaalmateriale is geneig om te "uitsit en gewig op te tel" wanneer dit verhit word en "saam te trek en dunner te word" wanneer dit afgekoel word. Graniet blyk egter 'n "konstante temperatuurmagie" te hê. Wanneer die temperatuur met 1 ℃ wissel, is die uitsetting en sametrekking daarvan slegs een duisendste van dié van 'n menslike haar. Daar moet kennis geneem word dat selfs al is daar 'n effense verandering in die temperatuur van die toetslaboratorium, die granietbasis die toerusting stewig kan ondersteun en kan verhoed dat die gelykheid "afwyk".
Tweedens, die verwerkingstegniek van "duiwelse besonderhede"
Om die granietbasis meer akkuraat te maak, het ingenieurs "swart tegnologie" vir verwerking gebruik. Stel jou voor dat jy klippe poleer met "superskuurpapier" gemaak van diamante - so werk 'n vyf-as-slypmasjien. Dit sal die oppervlak van die graniet in drie stappe platter as 'n spieël slyp:
Growwe slyp: Verwyder eers die oppervlakvlekke van die klip en beheer die platheid tot een-twintigste van 'n menslike haar.
Semi-fyn slyp: Verdere verfyning, met die platheid verhoog tot een-vyftigste van 'n menslike haar.
Fyn slyp: Laastens word dit gepoleer met ultrafyn slyppoeier, wat 'n platheid van een duisendste van 'n menslike haar verkry! Op hierdie stadium is die oppervlak van die granietbasis soos 'n "horisontale verhoog" wat op maat gemaak is vir die inspeksietoerusting.
Sommige hoë-end monterings het ook 'n "slimbrein" - die ingeboude hoë-presisie waterpas is soos 'n "klein wag" aan diens 24 uur per dag. Sodra dit bespeur dat die toerusting met 0.01 grade gekantel is (’n hoek kleiner as dié van ’n penpunt), sal die hidrouliese toestel onmiddellik aktiveer en die toerusting binne 30 sekondes "reguit maak".
Derdens, vernuftige ontwerp verbeter stabiliteit verder
Die ingenieurs het ook hul breine geknou oor die struktuur van die masjienbasis. Die onderkant is in 'n seshoekige heuningkoekvorm gemaak, net soos 'n byekorf, wat nie net die gewig verminder nie, maar ook die druk eweredig versprei. Wanneer die opsporingssonde op die wafer beweeg, is die vervorming by elke punt van die basis amper presies dieselfde, wat verseker dat die horisontale verwysing heeltyd stabiel bly.
Nog meer verbasend is dat 'n "onsigbare skokbreker" - 'n piezo-elektriese keramiek-skokbreker - tussen die basis en die grond geïnstalleer is. Dit kan verskeie vibrasies van 1 tot 1000Hz soos 'n radar vasvang en onmiddellik omgekeerde golwe uitstraal om die interferensie te "teenwerk". Byvoorbeeld, die vibrasies wat gegenereer word deur die werking van die masjiene langsaan of die skokke van voertuie wat buite verbygaan, is alles "nutteloos" daarvoor.
Data spreek vanself: Hoe kragtig is die effek?
In praktiese toepassings is die werkverrigting van die granietbasis werklik verstommend:
Optiese inspeksie: Die akkuraatheid van die identifisering van oppervlakdefekte op wafers is verbeter van 3 mikron tot 1 mikron (1 mikron = een-sestigste van 'n menslike haar).
Ultrasoniese toetsing: Die fout in die meting van wafeldikte is met driekwart verminder.
Langtermyn gebruik: Na 'n jaar se ononderbroke werking is die verandering in gelykheid byna weglaatbaar, terwyl gewone masjienbasisse lankal "vooroor gebuk" geraak het.
Van die voordele van natuurlike materiale tot presiese verwerking en innoverende ontwerp, het die granietbasis met sy "sterkte" bewys dat as jy skyfies akkuraat wil opspoor, hierdie klip werklik onontbeerlik is!
Plasingstyd: 18 Junie 2025