In die halfgeleiervervaardigingswerkswinkel is die vereistes van die skyfievervaardigingsproses vir omgewingstoestande en toerustingakkuraatheid uiters, en enige geringe afwyking kan lei tot 'n beduidende afname in die skyfie-opbrengs. Die XYZT-presisie-portaalbewegingsplatform maak staat op granietkomponente om met ander dele van die platform saam te werk om 'n stewige fondament te bou vir die bereiking van nanoskaal-akkuraatheid.
Uitstekende vibrasieblokkerende eienskappe
In die halfgeleiervervaardigingswerkswinkel kan die werking van randapparatuur en personeel wat rondloop vibrasie veroorsaak. Die interne struktuur van granietkomponente is dig en uniform, met natuurlike hoë dempingseienskappe, soos 'n doeltreffende vibrasie-"versperring". Wanneer die eksterne vibrasie na die XYZT-platform oorgedra word, kan die granietkomponent meer as 80% van die vibrasie-energie effektief verswak en die interferensie van vibrasie op die platformbewegingsakkuraatheid verminder. Terselfdertyd is die platform toegerus met 'n hoë-presisie lugvlottergeleidingstelsel, wat saam met granietkomponente werk. Die lugvlottergeleiding gebruik die stabiele gasfilm wat deur hoëdrukgas gevorm word om die kontaklose ophangbeweging van die bewegende dele van die platform te bewerkstellig en die klein vibrasie wat deur meganiese wrywing veroorsaak word, te verminder. Saam verseker die twee dat die platformposisioneringsakkuraatheid altyd op nanometervlak gehandhaaf word in sleutelprosesse soos skyfielitografie en ets, en vermy die afwyking van skyfiestroombaanpatrone wat deur vibrasie veroorsaak word.
Uitstekende termiese stabiliteit
Die skommelinge van temperatuur en humiditeit in die werkswinkel het 'n groot invloed op die akkuraatheid van skyfievervaardigingstoerusting. Die termiese uitbreidingskoëffisiënt van graniet is baie laag, gewoonlik in 5-7 ×10⁻⁶/℃, die grootte bly amper onveranderd wanneer die temperatuur verander. Selfs al veroorsaak die temperatuurverskil tussen dag en nag in die werkswinkel of die hitteproduksie van die toerusting dat die omgewingstemperatuur fluktueer, kan die granietkomponente stabiel bly om die vervorming van die platform as gevolg van termiese uitbreiding en sametrekking te voorkom. Terselfdertyd monitor die intelligente temperatuurbeheerstelsel wat met die platform toegerus is, die omgewingstemperatuur intyds, pas outomaties die lugversorging en hitte-afvoertoerusting aan, en handhaaf die werkswinkeltemperatuur op 20 °C ±1 °C. Gekombineer met die voordele van graniethittestabiliteit, verseker dit dat die platform in langtermyn-werking, die bewegingsakkuraatheid van elke as altyd aan die skyfievervaardigingsnanometer-presisiestandaarde voldoen, om te verseker dat die skyfie-litografiepatroongrootte akkuraat is en die etsdiepte eenvormig is.
Voldoen aan die behoeftes van 'n skoon omgewing
Die halfgeleiervervaardigingswinkel moet 'n hoë mate van netheid handhaaf om te verhoed dat stofdeeltjies die skyfie besoedel. Granietmateriaal self produseer nie stof nie, en die oppervlak is glad, nie maklik om stof te absorbeer nie. Die platform as geheel neem 'n volledig geslote of semi-geslote struktuurontwerp aan om die toetrede van eksterne stof te verminder. Die interne lugsirkulasiestelsel is gekoppel aan die skoon lugversorgingstelsel van die werkswinkel om te verseker dat die interne lugskoonheid die vlak bereik wat deur skyfievervaardiging vereis word. In hierdie skoon omgewing sal granietkomponente nie die werkverrigting as gevolg van stoferosie beïnvloed nie, en sleutelkomponente soos hoë-presisie sensors en motors van die platform kan ook stabiel werk, wat 'n deurlopende en betroubare nanoskaal-akkuraatheidswaarborg vir skyfievervaardiging bied, en die halfgeleierbedryf help om na 'n hoër prosesvlak te beweeg.
Plasingstyd: 14 Apr-2025