In halfgeleiervervaardiging is die fotolitografiemasjien 'n sleuteltoestel wat die presisie van skyfies bepaal, en die granietbasis, met sy veelvuldige eienskappe, het 'n onontbeerlike komponent van die fotolitografiemasjien geword.
Termiese stabiliteit: Die "Skerm" teen Temperatuurveranderinge
Wanneer 'n fotolitografiemasjien in werking is, genereer dit 'n groot hoeveelheid hitte. Selfs 'n temperatuurskommeling van slegs 0.1 ℃ kan vervorming van die toerustingkomponente veroorsaak en die akkuraatheid van die fotolitografie beïnvloed. Die termiese uitsettingskoëffisiënt van graniet is uiters laag, slegs 4-8 × 10⁻⁶/℃, wat ongeveer 1/3 van dié van staal en 1/5 van dié van aluminiumlegering is. Dit stel die granietbasis in staat om dimensionele stabiliteit te handhaaf wanneer die fotolitografiemasjien vir 'n lang tyd werk of wanneer die omgewingstemperatuur verander, wat die presiese posisionering van optiese komponente en meganiese strukture verseker.
Super anti-vibrasie prestasie: Die "spons" wat vibrasie absorbeer
In 'n halfgeleierfabriek kan die werking van omliggende toerusting en die beweging van mense alles vibrasies genereer. Graniet het 'n hoë digtheid en 'n harde tekstuur, en dit het uitstekende dempingseienskappe, met 'n dempingsverhouding van 2 tot 5 keer dié van metale. Wanneer eksterne vibrasies na die granietbasis oorgedra word, skakel die wrywing tussen die interne mineraalkristalle die vibrasie-energie om in hitte-energie vir dissipasie, wat die vibrasie in 'n kort tydjie aansienlik kan verminder, wat die fotolitografiemasjien toelaat om vinnig stabiliteit te herstel en vervaagde of wanbelyning van die fotolitografiepatroon as gevolg van vibrasie te vermy.
Chemiese stabiliteit: Die "Beskermer" van 'n Skoon Omgewing
Die binnekant van 'n fotolitografiemasjien kom in aanraking met verskeie chemiese media, en gewone metaalmateriale is geneig tot korrosie of die vrystelling van deeltjies. Graniet bestaan uit minerale soos kwarts en veldspaat. Dit het stabiele chemiese eienskappe en sterk korrosieweerstand. Nadat dit in suur- en alkali-oplossings geweek is, is die oppervlakkorrosie uiters klein. Intussen genereer die digte struktuur byna geen puin of stof nie, wat voldoen aan die vereistes van die hoogste skoonkamerstandaarde en die risiko van waferkontaminasie verminder.
Verwerkingsaanpasbaarheid: Die "ideale materiaal" vir die skep van presiese maatstawwe
Die kernkomponente van die fotolitografiemasjien moet op 'n hoë-presisie verwysingsoppervlak geïnstalleer word. Die interne struktuur van graniet is uniform en dit is maklik om tot uiters hoë presisie te verwerk deur slyp, poleer en ander tegnieke. Die platheid daarvan kan ≤0.5μm/m bereik, en die oppervlakruheid Ra is ≤0.05μm, wat 'n presiese installasiebasis bied vir komponente soos optiese lense.
Lang lewensduur en onderhoudsvry: Die "skerp gereedskap" vir kostebesparing
In vergelyking met metaalmateriale wat geneig is tot moegheid en krake oor langdurige gebruik, ondergaan graniet skaars plastiese vervorming of breuk onder normale belastings, en dit benodig nie oppervlakbehandeling nie, wat die risiko van afskilfering en kontaminasie van die laag vermy. In praktiese toepassings, na jare se gebruik, kan die sleutelprestasie-aanwysers van die granietbasis steeds stabiel bly, wat die bedryfs- en onderhoudskoste van die toerusting verminder.
Van termiese stabiliteit, vibrasiebestandheid tot chemiese traagheid, voldoen die veelvuldige eienskappe van die granietbasis perfek aan die vereistes van die fotolitografiemasjien. Namate die skyfievervaardigingsproses steeds ontwikkel na hoër presisie, sal granietbasisse steeds 'n onvervangbare rol speel op die gebied van halfgeleiervervaardiging.
Plasingstyd: 20 Mei 2025