In die veld van hoë-end vervaardiging en baanbrekende wetenskaplike navorsing, het die ultra-presisie bewegingsmodule van die lugvlotter 'n sleuteltoerusting geword vir fyn werking en meting met sy uitstekende presisieprestasie. Die graniet-presisiebasis, as die ondersteuningskern, het streng vereistes vir die werksomgewing, en die geskikte omgewingstoestande is die basis om die stabiele prestasie en die beste effek te verseker.
Eerstens, temperatuurbeheer: presisie "stabiliseerder"
Alhoewel graniet bekend is vir sy stabiliteit, is dit nie heeltemal immuun teen temperatuurveranderinge nie. Alhoewel die termiese uitsettingskoëffisiënt laag is, gewoonlik 5-7 ×10⁻⁶/℃, kan subtiele temperatuurskommelings in ultra-presisie bewegingsbeheerscenario's steeds dimensionele veranderinge veroorsaak en die akkuraatheid van die module beïnvloed. In die halfgeleier-skyfievervaardigingswerkswinkel vereis die litografieproses 'n danami-vlak posisioneringsakkuraatheid, en die omgewingstemperatuur wissel met 1 °C, en die granietbasis met 'n sylengte van 1 meter kan 'n lineêre uitsetting of sametrekking van 5-7 mikron veroorsaak. Hierdie klein verandering word oorgedra deur die ultra-presisie bewegingsmodule van die lugvlotter, wat genoeg is om die skyfie se litografiepatroon af te wyk en die opbrengs aansienlik te verminder. Daarom, toegerus met 'n graniet-presisie-basis van die lugdrywende ultra-presisie-bewegingsmodule, moet die ideale werksomgewingtemperatuur beheer word teen 20 °C ±1 °C, met behulp van hoë-presisie konstante temperatuur toerusting, soos konstante temperatuur en humiditeit lugversorgingstelsel, deurlopende monitering en aanpassing van die omgewingstemperatuur, om te verseker dat die temperatuurskommelings in 'n baie klein reeks is, die basisgrootte stabiliteit handhaaf, om te verseker dat die module hoë-presisie werking het.
Tweedens, humiditeitsbestuur: die sleutel tot vogbestande beskerming "klip"
Humiditeit is nog 'n belangrike faktor wat die werkverrigting van presisie-granietbasisse beïnvloed. In 'n hoë humiditeitsomgewing absorbeer graniet maklik waterdamp, wat tot kondensasie op die oppervlak kan lei, wat nie net die verbindingstabiliteit van die graniet en die ultra-presisie-bewegingsmodule van die lugvlotter beïnvloed nie, maar ook oppervlakerosie kan veroorsaak en glans en akkuraatheid op die lange duur kan verminder. In die optiese lensslypwerkswinkel, as die humiditeit vir 'n lang tyd hoër as 60%RH is, sal die waterdamp wat op die oppervlak van die granietbasis geadsorbeer word, die beweging van die gasvlotterskuif beïnvloed, sodat die akkuraatheid van die lensslyp verminder word en die oppervlak gebrekkig is. Daarom moet die relatiewe humiditeit van die werksomgewing streng tussen 40%-60%RH beheer word, wat intyds gemonitor en aangepas kan word deur ontvochtigers, humiditeitsensors en ander toerusting te installeer om skade aan die granietbasis as gevolg van hoë humiditeit te voorkom, en die gladde werking van die ultra-presisie-bewegingsmodule van die lugvlotter te verseker.
Derdens, netheidswaarborg: die "beskermer" van presisie
Die skade van stofdeeltjies aan die presisie-granietbasis van die ultra-presisie-bewegingsmodule van lugflotasie kan nie onderskat word nie. Sodra die klein deeltjies die gasfilmgaping tussen die gasvlotterskuifbalk en die granietbasis binnedring, kan hulle die eenvormigheid van die gasfilm vernietig, wrywing verhoog en selfs die oppervlak van die basis krap, wat lei tot verminderde bewegingsakkuraatheid. In die ultra-presisie-bewerkingswerkswinkel van lugvaartonderdele, as die stofdeeltjies in die lug op die granietbasis val, kan die bewegingstrajek van die bewerkingsgereedskap afwyk, wat die bewerkingsakkuraatheid van die onderdele beïnvloed. Daarom moet die werkarea hoogs skoon gehou word, en 10 000 of selfs hoër vlakke van skoonheidsstandaarde bereik, deur die installering van lugsuiweringstoerusting, soos hoë-doeltreffendheid lugfilters (HEPA), wat die stofdeeltjies in die lug filter, terwyl personeel terselfdertyd stofvrye klere, skoenbedekkings, ens. moet dra om die stof wat deur mense meegebring word, te verminder. Handhaaf 'n hoë-presisie-bedryfsomgewing van die granietbasis en die lugvlotter se ultra-presisie-bewegingsmodule.
Vier, vibrasie-isolasie: gladde werking van die "skokblokkie"
Die eksterne vibrasie is die vyand van die presisie van die ultra-presisie bewegingsmodule van die lugvlotter. Alhoewel die presisie granietbasis 'n sekere vibrasie-dempingsvermoë het, kan die hoësterkte vibrasie steeds sy bufferlimiet oorskry. Die vibrasie wat gegenereer word deur die verkeer rondom die fabriek en die werking van groot meganiese toerusting word deur die grond na die granietbasis oorgedra, wat die bewegingsakkuraatheid van die ultra-presisie bewegingsmodule van die lugvlotter sal beïnvloed. In hoë-end CMM kan vibrasie veroorsaak dat die kontak tussen die meetsonde en die werkstuk wat gemeet moet word, onstabiel is, wat lei tot afwyking van die meetdata. Om hierdie probleem op te los, is dit nodig om effektiewe vibrasie-isolasiemaatreëls te tref, soos om vibrasie-isolasiekussings in die toerustinginstallasiearea te lê, vibrasie-isolasiefondament te bou, of 'n aktiewe vibrasie-isolasiestelsel te gebruik om eksterne vibrasie aktief te verreken, en 'n stil en stabiele werksomgewing vir die graniet-presisiebasis en die lugvlotter ultra-presisie bewegingsmodule te skep.
Slegs deur ten volle aan die omgewingvereistes van temperatuur, humiditeit, netheid en vibrasiebeheer te voldoen, kan die graniet-presisiebasis van die ultra-presisie-bewegingsmodule van die lugvlotter sy prestasievoordele ten volle benut, betroubare waarborg bied vir ultra-presisie-bedrywighede in verskeie velde, en die bedryf help om na 'n hoër presisie-vervaardigings- en wetenskaplike navorsingsvlak te beweeg.
Plasingstyd: 8 April 2025