In die velde van presisievervaardiging en wetenskaplike navorsing is die platheid van graniet-presisieplatforms 'n sleutelaanwyser om die akkuraatheid van toerusting te verseker. Die volgende is 'n gedetailleerde inleiding tot verskeie hoofstroom-opsporingsmetodes en hul bedryfsprosedures vir u.
I. Laserinterferometer-opsporingsmetode
Die laserinterferometer is die voorkeur-instrument vir hoë-presisie platheidopsporing. Neem die ZYGO GPI XP laserinterferometer as voorbeeld, die resolusie daarvan kan 0.1 nm bereik. Wanneer die opsporing uitgevoer word, rig eers die ligbron van die interferometer met die platform en verdeel die platformoppervlak in 50 mm × 50 mm roosterareas. Daarna is die interferensiefranjedata punt vir punt versamel, en die data is gepas en geanaliseer met behulp van die Zernike-polinoom om die platheidfout te verkry. Hierdie metode is van toepassing op hoë-presisie platforms en kan platheidfoute van ≤0.5 μm/m² opspoor. Dit word algemeen gebruik in die opsporing van fotolitografiemasjiene en hoë-end drie-koördinaat meetmasjienplatforms.
Ii. Elektroniese Vlakskikkingsmetode
Die elektroniese waterpas-opsporing is eenvoudig om te gebruik en hoogs doeltreffend. Die TESA A2 elektroniese waterpas (met 'n resolusie van 0.01μm/m) is gekies en in 'n 9×9-skikking langs die X/Y-asrigting van die platform gerangskik. Deur die hellingsdata van elke vlak sinchroon in te samel en dan die kleinste-kwadraatmetode vir berekening te gebruik, kan die platheidswaarde akkuraat verkry word. Hierdie metode kan die plaaslike konkawiteits- en konveksiteitstoestande van die platform effektief identifiseer. Byvoorbeeld, 'n fluktuasie van 0.2μm binne 'n 50 mm-reeks kan ook opgespoor word, wat geskik is vir vinnige opsporing in massaproduksie.
III. Optiese platkristalmetode
Die optiese platkristalmetode is geskik vir die opsporing van platforms met 'n klein area. Heg die optiese platkristal styf aan die oppervlak wat op die platform getoets moet word, vas en let op die interferensiefranje wat tussen hulle gevorm word onder die beligting van 'n monochromatiese ligbron (soos 'n natriumlamp). As die strepe parallelle reguit strepe is, dui dit op goeie platheid. As geboë strepe verskyn, bereken die platheidsfout gebaseer op die mate van streepkromming. Elke geboë streep verteenwoordig 'n hoogteverskil van 0.316 μm, en die platheidsdata kan deur eenvoudige omskakeling verkry word.
Vier. Drie-koördinaat meetmasjien inspeksiemetode
Die drie-koördinaat meetmasjien kan hoë-presisie metings in driedimensionele ruimte bereik. Plaas die granietplatform op die werktafel van die meetmasjien en gebruik die sonde om data eenvormig van verskeie meetpunte op die oppervlak van die platform in te samel. Die meetmasjienstelsel verwerk en analiseer hierdie data om 'n platheidsverslag van die platform te genereer. Hierdie metode kan nie net platheid opspoor nie, maar ook ander geometriese parameters van die platform gelyktydig verkry, en is geskik vir die omvattende opsporing van groot granietplatforms.
Deur hierdie opsporingsmetodes te bemeester, kan u die platheid van die graniet-presisieplatform akkuraat bepaal en 'n betroubare waarborg bied vir die stabiele werking van presisietoerusting.
Plasingstyd: 29 Mei 2025