Die Presisie-revolusie in halfgeleiervervaardiging: Wanneer graniet mikrontegnologie ontmoet
1.1 Onverwagte ontdekkings in materiaalkunde
Volgens die 2023 SEMI International Semiconductor Association-verslag het 63% van die wêreld se gevorderde fabrieke begin om granietbasisse in plaas van tradisionele metaalplatforms te gebruik. Hierdie natuurlike klip, wat ontstaan uit magma-kondensasie diep in die Aarde, herskryf die geskiedenis van halfgeleiervervaardiging vanweë sy unieke fisiese eienskappe:
Termiese traagheidsvoordeel: die termiese uitbreidingskoëffisiënt van graniet 4.5 × 10⁻⁶/℃ is slegs 1/5 van dié van vlekvrye staal, en die dimensionele stabiliteit van ± 0.001 mm word gehandhaaf in die deurlopende werk van die litografiemasjien.
Vibrasiedempende eienskappe: die interne wrywingskoëffisiënt is 15 keer hoër as dié van gietyster, wat toerusting se mikrovibrasie effektief absorbeer.
Nul magnetiseringsaard: elimineer die magnetiese fout in lasermeting heeltemal
1.2 Die metamorfose-reis van myn tot fabriek
As ons ZHHIMG se intelligente produksiebasis in Shandong as voorbeeld neem, moet 'n stuk rou graniet ondergaan:
Ultra-presisie-bewerking: vyf-as skakelbewerkingsentrum vir 200 uur se deurlopende freeswerk, oppervlakruheid tot Ra0.008μm
Kunsmatige verouderingsbehandeling: 48 uur se natuurlike spanningsvrystelling in die werkswinkel met konstante temperatuur en humiditeit, wat die stabiliteit van die produk met 40% verbeter.
Tweedens, ontrafel die ses presisieprobleme van halfgeleiervervaardiging "rotsoplossing"
2.1 Skema vir die vermindering van die waferfragmentasietempo
Gevallestudie: Nadat 'n spaangietery in Duitsland ons gasdrywende granietplatform aanvaar het:
| Waferdeursnee | vermindering van skyfiesnelhede | verbetering van platheid |
| 12 duim | 67% | ≤0.001mm |
| 18 duim | 82% | ≤0.0005mm |
2.2 Litografiese belyningsakkuraatheid deurbraakskema
Temperatuurkompensasiestelsel: ingebedde keramieksensor monitor die vormveranderlike intyds en pas outomaties die platformhelling aan
Gemete data: onder die skommeling van 28 ℃ ± 5 ℃, skommel die inbeddingsakkuraatheid minder as 0.12μm
Plasingstyd: 24 Maart 2025