Die granietplatform, as 'n verwysingsinstrument vir presiese meting en verwerking, beïnvloed die akkuraatheidsonderhoud daarvan direk die produksiekwaliteit. Die volgende verskaf 'n sistematiese onderhoudsplan wat omgewingsbeheer, daaglikse onderhoud en professionele kalibrasie dek om te verseker dat die platform nanometervlak-akkuraatheid vir 'n lang tyd handhaaf.
1. Omgewingsbeheer: Bou 'n presisie-beskermingsversperring
Temperatuur- en humiditeitsbestuur
Die werksomgewingtemperatuur moet gestabiliseer word teen 20±1℃. Elke 1℃-fluktuasie sal termiese vervorming van die granietplatform veroorsaak teen 0.5-1μm/m. 'n Konstante temperatuurstelsel kan in die werkswinkel geïnstalleer word om te verhoed dat die lugversorgingsuitlate direk op die platform waai.
Die humiditeit moet tussen 40% en 60% beheer word. Oormatige humiditeit kan maklik roes op metaalonderdele veroorsaak, terwyl te lae humiditeit tot statiese elektrisiteit-interferensie in meting kan lei.
Vibrasie-isolasie
Die platform moet weggehou word van vibrasiebronne soos stampmasjiene en freesmasjiene. Dit word aanbeveel om 'n afstand van meer as 3 meter van vibrasietoerusting te handhaaf.
Indien vibrasie nie vermy kan word nie, kan lugveer-skokbrekers aan die onderkant van die platform geïnstalleer word om die impak van omgewingsvibrasie op die platheid van die platform te verminder (wat eksterne vibrasie met meer as 80% kan verminder).
2. Daaglikse Onderhoud: Noukeurige beheer van skoonmaak tot beskerming
Oppervlak skoonmaak spesifikasie
Stofverwydering: Vee die oppervlak elke dag met hertenvel of 'n pluisvrye lap in dieselfde rigting af om te verhoed dat stofdeeltjies (≥5μm) die platform krap. Hardnekkige vlekke kan saggies met watervrye etanol (suiwerheid ≥99.7%) afgevee word. Sterk oplosmiddels soos asetoon moet nie gebruik word nie.
Ontvetting: Indien dit in aanraking kom met olievlekke, vee dit af met 'n verdunde neutrale skoonmaakmiddel, spoel dit dan af met gedeïoniseerde water en laat dit lugdroog word om te verhoed dat minerale olie die klein porieë van die platform binnedring.
Laai- en botsingsbeskerming
Die dravermoë van die platform moet binne 70% van die nominale las beheer word (byvoorbeeld, vir 'n 1000 kg platform word dit aanbeveel dat die las ≤700 kg is) om permanente vervorming wat deur plaaslike oorlading veroorsaak word, te vermy.
Dit is streng verbode om werkstukke op die platform te slaan. Dra sagte handskoene wanneer gereedskap hanteer word om te verhoed dat skerp voorwerpe die oppervlak krap (krappe met 'n diepte groter as 20 μm sal die meting van die gereflekteerde ligpad beïnvloed).
3. Professionele Kalibrasie: Die Kern van wetenskaplike handhawing van akkuraatheid
Kalibrasie siklus instelling
Konvensionele gebruikscenario's: Kalibreer een keer elke kwartaal en gebruik 'n laserinterferometer om platheid op te spoor (met 'n akkuraatheid van ±0.5μm/m).
Hoëfrekwensiegebruik of strawwe omgewings: Maandelikse kalibrasie, met 'n fokus op die monitering van temperatuursensitiewe areas (soos die rand van die platform naby hittebronne).
Na-kalibrasie verwerking
Indien die platheidafwyking gevind word (soos > ±1μm/m), moet dit deur 'n professionele tegnikus met W1.5-mikropoeier geslyp en herstel word. Selfslyping met skuurpapier is streng verbode.
Na kalibrasie moet data aangeteken en geargiveer word, en 'n platform-akkuraatheid-dempingskurwe moet opgestel word om onderhoudsvereistes vooraf te voorspel.
4. Berging en vervoer: Vermy verborge presisieverlies
Belangrike punte vir langtermynberging
Wanneer dit gestoor word, moet dit met 'n vog- en stofdigte bedekking bedek word. Die onderkant moet deur drie punte ondersteun word (die ondersteuningspunt is op 2/9 van die platform se lengte geleë) om buigvervorming wat deur swaartekrag veroorsaak word, te voorkom ('n 1-meter platform kan met 0.3μm sak as gevolg van langtermyn enkelpuntondersteuning).
Verskuif die posisie van die platformondersteuningspunte gereeld (maandeliks) om langtermyn plaaslike druk te vermy.
Vervoerbeskermingsplan
Kortafstandvervoer: Draai toe met skokabsorberende skuim, maak dit vas binne 'n stewige raam en hou die versnelling binne 2g.
Langafstandvervoer: Dit moet vakuumverpak en met droë stikstof gevul word. Na aankoms moet dit vir 24 uur staan totdat die temperatuur ewewig bereik voordat dit uitgepak word om te verhoed dat kondensasiewater die akkuraatheid beïnvloed.
5. Foutvoorspelling: Tegnieke vir die identifisering van vroeë probleme
Visuele inspeksie: Observeer die oppervlak gereeld met 'n 40x vergrootglas. Indien aanhoudende skrape of 'n beduidende afname in glans gevind word, kan dit 'n afname in akkuraatheid aandui.
Klankopsporing: Tik die platform liggies. Indien die geluid hees word (normaalweg behoort dit 'n helder geluid te wees), kan daar mikrokrake binne wees. Hou onmiddellik op om dit vir opsporing te gebruik.
Deur hierdie onderhoudstelsel kan die ZHHIMG®-granietplatform 'n platheid van ±1μm/m vir 10 jaar handhaaf, wat meer as drie keer langer is as die presisie-leeftyd van platforms wat nie behoorlik onderhou word nie. Die praktyk het bewys dat nadat 'n sekere halfgeleierfabriek hierdie oplossing aangeneem het, die frekwensie van platformkalibrasie met 50% verminder is, en die jaarlikse onderhoudskoste met meer as 150 000 yuan bespaar is.
Plasingstyd: 18 Junie 2025